[发明专利]一种Al-Sc-X多元合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种Al-Sc-X多元合金靶材，其特征在于，由以下重量百分比计的组分组成：50％～98％Al，1％～48％Sc，1％～49％X，其中所述X为Si、Mg、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Y、Nb、Mo、Ta、W和Ag中的一种或多种。

2.一种如权利要求1所述的Al-Sc-X多元合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1:取Al粉、Sc粉和X粉在保护气体保护下进行混合，得混合金属粉末，所述Al的纯度为99.9％以上，所述Sc的纯度为99.9％以上，所述X粉的纯度为99.9％以上；

S2：将步骤S1所述混合金属粉末装入石墨模具中预压制，所述预压制的压力为1MPa～10Mpa；

S3：将步骤S2中所述装有混合金属粉末的石墨模具在烧结炉中进行热压烧结，烧结温度为500℃～1200℃，烧结压力为10Mpa～150Mpa，烧结时间为10min～180min；

S4：将步骤S3所述的热压烧结后装有混合金属粉末的石墨模具降温至50℃以下、卸载压力、破真空及脱模，得到Al-Sc-X合金靶材。

3.根据权利要求2所述的Al-Sc-X多元合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤S1所述Al粉的粒度范围为2μm～100μm，所述Sc粉的粒度范为10μm～200μm，所述X粉的粒度范围为2μm～100μm。

4.根据权利要求2所述的Al-Sc-X多元合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤S1所述保护气体为氮气或惰性气体。

5.根据权利要求2所述的Al-Sc-X多元合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S2还可以为：将步骤S1所述金属粉末装入钢制模具中压制成型得到粉末坯料，压制的压力为10MPa～100Mpa，然后再将所述粉末坯料转移至石墨模具中进行预压制。

6.根据权利要求2所述的Al-Sc-X多元合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤S3所述热压烧结前先将所述烧结炉进行密封和抽真空，所述烧结炉的真空度为6.7×10^-2～6.7×10^-3Pa。

7.根据权利要求6所述的Al-Sc-X多元合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤S3所述烧结炉中充有惰性气体，所述充惰性气体和抽真空交替进行三次以上。

8.根据权利要求2所述的Al-Sc-X多元合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤S4所述降温速度为2℃/min～20℃/min。

9.一种如权利要求1所述的Al-Sc-X多元合金靶材或如权利要求2-8所述的制备方法制备得到的Al-Sc-X多元合金靶材在真空溅射镀膜技术上的应用。