[发明专利]一种基于压差的MEMS光纤法珀低温液位传感器及其测量系统在审
| 申请号： | 201911078592.8 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110849442A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 刘铁根;李梦迪;王双;江俊峰;刘琨;黄毅;闪晨曦 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01F23/292 | 分类号： | G01F23/292 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 光纤 低温 传感器 及其 测量 系统 | ||
1.一种基于压差的MEMS光纤法珀低温液位传感器，其特征在于，该传感器包括传感头和传感体，所述传感头的结构包括单晶硅片(1)、腐蚀圆柱型凹槽并底部镀膜的Pyrex玻璃片(2)、低熔点玻璃(3)、中心带通孔的圆柱形玻璃柱(4)和多模光纤(5)；其中：
所述单晶硅片(1)和所述腐蚀圆柱型凹槽并底部镀膜的Pyrex玻璃片(2)通过金-金键合的方式贴合在一起，所述中心带通孔的圆柱形玻璃柱(4)用所述低熔点玻璃(3)与所述腐蚀圆柱型凹槽并底部镀膜的Pyrex玻璃片(2)紧密固定；多模光纤(5)插入至中心带通孔的圆柱形玻璃柱(4)中；腐蚀圆柱型凹槽并底部镀膜后的Pyrex玻璃片(2)的镀膜端面作为F-P腔的第一个反射面，所述单晶硅片(1)的内表面用作感压硅膜片(15)，同时构成法珀腔的第二个反射面；
所述感压硅膜片(15)中心平整、周边波纹状，感受压力。
2.一种基于压差的MEMS光纤法珀低温液位传感测量系统，其特征在于，该传感测量系统包括宽带光源(9)、光纤环形器(10)、低相干干涉解调器(11)及数据采集及处理系统(12)；其中：
所述宽带光源(9)发出的光通过光纤环行器(10)传输至该F-P腔传感器的第一个反射面发生部分反射，形成反射参考光(7)，另一部分光继续传输至该F-P腔传感器的第二个反射面发生部分反射，形成反射传感光(8)，反射参考光(7)与反射传感光(8)在光纤环行器(10)处进行干涉，传输至低相干干涉解调器(11)中，输出信号经数据采集及处理系统(12)后，最终获得所测量的液位信息。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911078592.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：灰铸铁生产工艺及应用于该工艺的熔炼炉
- 下一篇：一种CuO-Cu
