[发明专利]一种纳米金属氧化物材料的制备方法在审
| 申请号： | 201911080056.1 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110862072A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 张昱;王泽鹏;叶怀宇;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | C01B13/32 | 分类号： | C01B13/32;C01G5/00;C01G9/03;C01G23/047;C01G45/02;C01G49/06;C01G53/04;B82Y40/00;B22F9/14 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 阎冬 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 金属 氧化物 材料 制备 方法 | ||
1.一种纳米金属氧化物材料的制备方法，其特征在于，使用由依次连通的火花烧蚀装置和收集装置组成的制备系统，包括以下步骤：
步骤一，使用火花烧蚀装置制备纳米金属粉；
步骤二，调节火花烧蚀装置电极两端所加电压的大小，来控制生成纳米金属颗粒的大小；
步骤三，向制备系统通入气体，纳米金属粉与气体发生氧化反应，生成纳米金属氧化物；
步骤四，纳米金属氧化物随流动的空气从制备装置进入收集装置，最终沉积在收集装置指定区域的基底上。
2.根据权利要求1所述的纳米金属氧化物材料制备方法，其特征在于：所述火花烧蚀装置是一种用物理法制备微纳金属颗粒的装置。
3.根据权利要求1所述的纳米金属氧化物材料制备方法，其特征在于：所述金属粉包括铝、锰、锌、锡、银、钴、铬、铁、镍、铜、钨、钼。
4.根据权利要求1所述的纳米金属氧化物材料制备方法，其特征在于：所述纳米金属颗粒粒径为1nm-100nm。
5.根据权利要求1所述的纳米金属氧化物材料制备方法，其特征在于：通入的气体的流量为0.5～5L/min，纳米金属氧化物材料收集装置的储存腔容积为0.1～2L。
6.根据权利要求1所述的纳米金属氧化物材料制备方法，其特征在于：所述气体包括空气、氧气。
7.根据权利要求1所述的纳米金属氧化物材料制备方法，其特征在于：所述火花烧蚀装置的两侧分别设有气体输入管和气体输出管，所述气体输入管上设有第一流量控制阀，所述火花烧蚀装置的气体输出管和纳米金属氧化物收集装置的腔体连通，所述气体输出管上设有第二流量控制阀。
8.根据权利要求1所述的纳米金属氧化物材料制备方法，其特征在于：所述纳米金属颗粒的大小通过调节火花烧蚀装置电极两端电压大小进行控制。
9.根据权利要求1所述的纳米金属氧化物材料制备方法，其特征在于：所述基底包括：半导体基底、有机/无机薄膜类柔性基底或多孔基底。
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