[发明专利]涡流检测装置和研磨装置

权利要求书

1.一种涡流检测装置，能够配置在形成有导电性膜的被研磨物的附近，所述涡流检测装置的特征在于，

具有多个涡流传感器，所述多个涡流传感器相互配置在附近，

所述多个涡流传感器分别具有：

芯部；

励磁线圈，该励磁线圈配置于所述芯部，且能够在所述导电性膜中形成涡流；以及

检测线圈，该检测线圈配置于所述芯部，且能够检测在所述导电性膜中形成的所述涡流。

2.根据权利要求1所述的涡流检测装置，其特征在于，

在所述多个涡流传感器中的至少一个涡流传感器中，所述励磁线圈与所述检测线圈为相同的线圈，所述励磁线圈能够检测在所述导电性膜中形成的所述涡流。

3.根据权利要求1或2所述的涡流检测装置，其特征在于，

在所述多个涡流传感器中的至少一个涡流传感器中，

所述芯部具有底面部、设置于所述底面部的中央的磁芯部、以及设置于所述底面部的周边的周边部，

所述励磁线圈和所述检测线圈配置于所述磁芯部。

4.根据权利要求3所述的涡流检测装置，其特征在于，

所述励磁线圈和所述检测线圈除了配置于所述磁芯部还配置于所述周边部。

5.根据权利要求3或4所述的涡流检测装置，其特征在于，

所述周边部为以包围所述磁芯部的方式设置于所述底面部的周边的周壁部。

6.根据权利要求3或4所述的涡流检测装置，其特征在于，

所述底面部具有柱状的形状，所述周边部配置于所述柱状的形状的两端。

7.根据权利要求3或4所述的涡流检测装置，其特征在于，

所述周边部在所述底面部的周边设置有多个。

8.根据权利要求1或2所述的涡流检测装置，其特征在于，

在所述多个涡流传感器中的至少一个涡流传感器中，

所述芯部具有底面部以及多个柱状部，该多个柱状部从所述底面部沿垂直方向朝向所述被研磨物延伸，

所述多个柱状部具有能够生成第一磁极性的多个第一柱状部、以及能够生成与所述第一磁极性相反的第二磁极性的多个第二柱状部。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的涡流检测装置，其特征在于，

所述多个涡流传感器以构成多边形的方式配置在所述多边形的顶点和/或所述多边形的边和/或所述多边形的内部。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的涡流检测装置，其特征在于，

所述多个涡流传感器以构成直线的方式配置在所述直线上。

11.一种研磨装置，其特征在于，具备：

研磨台，该研磨台能够粘贴用于对被研磨物进行研磨的研磨垫；

驱动部，该驱动部能够驱动所述研磨台旋转；

保持部，该保持部能够保持所述被研磨物并将所述被研磨物向所述研磨垫按压；

权利要求1至10中任一项所述的涡流检测装置，该涡流检测装置配置在所述研磨台的内部，且能够通过所述检测线圈来检测伴随着所述研磨台的旋转而由所述励磁线圈在所述被研磨物中形成的涡流；以及

终点检测部，该终点检测部能够根据检测出的所述涡流来检测表示所述被研磨物的研磨的结束的研磨终点。