[发明专利]一种阳极层离子源

权利要求书

1.一种阳极层离子源，其特征在于，包括有：

位于轴心位置的内阴极，环绕在所述内阴极外侧的外阴极，所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道；

均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体；

位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极的阳极环，开设在所述阳极环内的通气孔，开设在所述阳极环上且连通所述通气孔的通气狭缝，所述通气狭缝朝向所述离子束流通道；

所述阳极环朝向所述离子束流通道的一端内侧边缘处设置为阳极倒角，所述阳极倒角的表面的法线方向朝向轴心集中，所述通气狭缝位于所述阳极环朝向所述离子束流通道的端面与所述阳极倒角的边缘的相交处；

所述内阴极的磁极靴朝向阳极倒角的一端边缘处开设有阴极倒角，所述阴极倒角与所述阳极倒角平行；

所述阳极环内部设置有匀气室，所述匀气室连通所述通气孔和所述通气狭缝；所述阳极环内部还连接有进水管和出水管，所述进水管和所述出水管关于中心轴线对称设置，所述匀气室与所述阳极环的内壁之间留有间隙，所述进水管和所述出水管的通道与该间隙进行连通形成冷却通道。

2.根据权利要求1所述的阳极层离子源，其特征在于，所述匀气室内设置有匀气板，所述匀气板上设置有匀气孔。

3.根据权利要求2所述的阳极层离子源，其特征在于，靠近所述通气孔位置的匀气孔直径小于远离所述通气孔位置的匀气孔直径。

4.根据权利要求1所述的阳极层离子源，其特征在于，所述阳极环包括有两个通气管，所述通气孔为通气管的内腔，两个所述通气管沿离子源轴心对称设置。

5.根据权利要求1所述的阳极层离子源，其特征在于，所述通气狭缝宽度为0.5～1.5mm。

6.根据权利要求1所述的阳极层离子源，其特征在于，所述阳极环采用导电且不导磁材料制作；所述内阴极与外阴极均采用导磁材料制作。

7.根据权利要求1所述的阳极层离子源，其特征在于，所述永磁体为柱状的永磁铁或电磁铁，所述永磁体一端抵靠所述外阴极下表面，所述永磁体另一端与所述内阴极的磁轭连接。

8.根据权利要求1-7任一所述的阳极层离子源，其特征在于，还包括有底板，设置在所述底板上方且与所述内阴极同轴的永磁铁安装架，位于所述阳极环下方的限高柱，所述通气孔贯通所述限高柱且延伸贯通所述底板，位于所述通气孔贯通所述底板的位置上设置有密封组件。