[发明专利]成膜装置

说明书

本发明在抑制加热炉内的喷雾的流速变化的同时改变加热炉内的喷雾的浓度。本发明提供一种成膜装置，其向基体的表面供给溶液的喷雾而使膜在所述基体的所述表面外延生长。该成膜装置具有：加热炉，其收容并加热所述基体；喷雾产生槽，其内部产生所述溶液的所述喷雾；喷雾供给路径，其连接所述喷雾产生槽和所述加热炉；载气供给路径，其向所述喷雾产生槽供给载气；稀释气供给路径，其向所述喷雾供给路径供给稀释气；以及气体流量控制装置，其控制所述载气的流量和所述稀释气的流量。所述气体流量控制装置在使所述载气的流量增加时，使所述稀释气的流量降低。

技术领域

本发明公开的技术涉及成膜装置。

背景技术

专利文献1公开了一种成膜装置，其将溶液的喷雾向基体的表面供给，使膜在基体的表面外延生长。该成膜装置具有：加热炉，其收容并加热基体；喷雾产生槽，其在内部产生溶液的喷雾；喷雾供给路径，其连接喷雾产生槽和加热炉；载气供给路径，其向喷雾产生槽供给载气；以及稀释气供给路径，其向喷雾供给路径供给稀释气。如果向喷雾产生槽供给载气，则喷雾产生槽内的喷雾与载气一起流向喷雾供给路径。如果向喷雾供给路径供给稀释气，则喷雾供给路径内的喷雾与载气和稀释气一起流向加热炉。通过流入加热炉的喷雾附着在基体的表面上，从而膜在基体的表面外延生长。

专利文献1：日本特开2017-162816号公报

发明内容

在专利文献1的成膜装置中，通过改变载气或稀释气的流量，能够改变向加热炉供给的喷雾的浓度。由此，能够改变膜的特性。然而，如果改变载气或稀释气的流量，则加热炉内的喷雾的流速会发生变化，喷雾的流速变化的影响导致膜的特性发生变化。因此，有时难以将膜的特性控制为所希望的特性。此外，如果要将喷雾的浓度控制为特定浓度，则有时导致喷雾的流速偏离适当的成膜条件，使膜无法稳定地生长。在本说明书中，提出了在抑制加热炉内的喷雾的流速变化的同时改变加热炉内的喷雾的浓度的技术。

本说明书所公开的成膜装置，向基体的表面供给溶液的喷雾而使膜在所述基体的所述表面外延生长。该成膜装置具有：加热炉，其收容并加热所述基体；喷雾产生槽，其内部产生所述溶液的所述喷雾；喷雾供给路径，其连接所述喷雾产生槽和所述加热炉；载气供给路径，其向所述喷雾产生槽供给载气；稀释气供给路径，其向所述喷雾供给路径供给稀释气；以及气体流量控制装置，其控制所述载气的流量和所述稀释气的流量。所述喷雾产生槽内的所述喷雾与所述载气一起流向所述喷雾供给路径。所述喷雾供给路径内的所述喷雾与所述载气和所述稀释气一起流向所述加热炉。所述气体流量控制装置在使所述载气的流量增加时，使所述稀释气的流量降低。

在该成膜装置中，喷雾产生槽内的喷雾与载气一起流向喷雾供给路径。因此，载气的流量越多，从喷雾产生槽向喷雾供给路径流动的喷雾的量越多。在喷雾供给路径内，通过稀释气汇入喷雾中而喷雾的浓度降低。因此，稀释气的流量越多，则喷雾的浓度就越低。气体流量控制装置使载气的流量增加时，使稀释气的流量减少。因此，从喷雾产生槽向喷雾供给路径流动的喷雾的量变多，并且喷雾供给路径内的喷雾的浓度降低量减少。因此，向加热炉供给的喷雾的浓度升高。此外，由于在使载气的流量增加时使稀释气的流量减少，因此，向加热炉供给的气体的流量几乎不变。因此，即使向加热炉供给的喷雾的浓度升高，加热炉内的喷雾的流速也基本不变。这样，根据该成膜装置，能够在抑制加热炉内的喷雾的流速的变化的同时，使加热炉内的喷雾的浓度提高。因此，根据该成膜装置，能够准确地控制要生长的膜的特性。

附图说明

图1为实施例1的成膜装置的结构图。

图2为实施例2的成膜装置的结构图。

图3为实施例3的成膜装置的结构图。

具体实施方式