[发明专利]光声传感器模块和组件

说明书

本公开涉及光声传感器模块和组件。示例互连模块包括被配置为位于光声传感器的发射器模块和光声传感器的检测器模块之间的支撑结构。发射器模块可包括发射器部件，并且检测器模块可包括检测器部件。互连模块可包括被配置为连接发射器部件或检测器部件中的至少一个的导电元件。

技术领域

本公开总体上涉及半导体领域，更具体地，涉及光声传感器模块和组件。

背景技术

光声传感器可用于多种应用。光声传感器包括发射器部件和检测器部件。发射器部件发射被物质(例如，气体、液体、固体材料等)吸收的光脉冲。被吸收的光脉冲生成对应的压力脉冲，从而产生了可被检测器部件检测的对应声信号。发射器部件在特定频率下调制光脉冲以对准(target)特定分子，并且检测器部件基于从吸收光脉冲的被对准分子接收的声信号来感测分子的一个或多个特性。

发明内容

根据一些实施方式，一种互连模块可包括：支撑结构，被配置为位于光声传感器的发射器模块与光声传感器的检测器模块之间，其中发射器模块可包括发射器部件，检测器模块可包括检测器部件；以及导电元件，被配置为连接发射器部件或检测器部件中的至少一个。

根据一些实施方式，一种光声传感器可包括：发射器模块，发射器模块包括被配置为发射光脉冲的发射器部件；检测器模块，检测器模块包括被配置为检测光脉冲被气体吸收的检测器部件；以及互联模块，位于发射器模块与检测器模块之间，互连模块包括连接发射器模块和检测器模块的支撑结构，其中支撑结构包括导电元件，以提供与发射器部件或检测器部件的电连接，并且支撑结构包括腔体，以使气体能够在互连模块内流动。

根据一些实施方式，一种方法可包括：将互连模块附接至检测器模块，其中检测器模块包括检测器部件，并且互连模块包括被配置为与检测器部件接合的第一导电元件；以及与检测器模块相对地，将发射器模块附接至互连模块，其中发射器模块包括发射器部件，互连模块包括被配置为与发射器部件接合的第二导电元件，并且互连模块在发射器模块与互连模块之间形成腔体。

附图说明

图1是本文描述的示例性实施方式的示图。

图2-图3示出了本文描述的互连模块的示例实施方式。

图4是本文描述的传感器的示例部件的示图。

图5是本文描述的光声传感器的组件的实施方式的示图。

图6是本文描述的光声传感器的示例实施方式的示图。

图7是与光声传感器的组装相关联的示例处理的流程图。

具体实施方式

参考附图进行以下对示例实施方式的详细描述。不同附图中的相同参考标号可识别相同或相似的元件。

在一些情况下，光声传感器由相互独立创建和/或制造的多个部件和/或模块组装而成。例如，与具有检测器部件的检测器模块独立地，发射器模块可以用发射器部件制造。光声传感器(例如，光声气体传感器)可配置有定向排列的配置，包括发射器模块和检测器模块以在发射器部件(例如，发射光的一个或多个元件)和检测器部件(例如，检测光吸收的一个或多个元件)之间生成吸收路径(例如，气体可流过的路线)，使得发射器部件被配置为朝向检测器部件通过吸收路径发射光脉冲。

当光声传感器的尺寸相对较小(例如，长度、宽度和/或高度小于20(mm))时，组装这种光声传感器的在先技术特别复杂。在先的一些技术涉及将发射器模块(包括发射器部件)附接至检测器模块(包括检测器部件)。然而，在这些技术中用于发射器模块和检测器模块的材料(陶瓷)在结构上不足以提供足够的吸收路径(例如，陶瓷部件太脆弱，无法以创建相对较大吸收路径的方式安装在一起)。此外，这些技术中的吸收路径受限于模块的尺寸，因此在组装期间不能相对于吸收路径的尺寸提供灵活性。