[发明专利]一种金刚石对顶砧内样品厚度测量装置及方法

权利要求书

1.一种金刚石对顶砧内样品厚度测量装置，结构包括：中央处理器(1)、多功能调整平台滑轨(15)和安放于多功能调整平台滑轨(15)上的多功能调整平台(17)，在多功能调整平台(17)上安装有金刚石A压砧(18)、金刚石B压砧(20)以及夹在金刚石A压砧(18)和金刚石B压砧(20)中间的样品承压垫片(19)，样品承压垫片(19)中心压腔内放置样品(32)；所述的多功能调整平台(17)是具备上下、左右、单侧倾角调整功能的平台；其特征在于，结构还有定位激光承台(8)、测角激光A承台(5)、测角激光B承台(2)、测距仪(3)、定位调平激光承台(30)以及定位激光承台滑轨(9)、测距滑轨(4)；其中，定位激光承台(8)安放于定位激光承台滑轨(9)上，测距仪(3)、测角激光A承台(5)、测角激光B承台(2)安放于测距滑轨(4)上；

在测角激光A承台(5)上，安装有测角定位A激光(13)、测角A激光(14)、定位A传感器(16)和测角激光A滑轨(6)；测角定位A激光(13)固定在测角激光A滑轨(6)的一端，测角A激光(14)能在测角激光A滑轨(6)上平移；

在测角激光B承台(2)上，安装有测角定位B激光(22)、测角B激光(23)、定位B传感器(21)和测角激光B滑轨(29)；测角定位B激光(22)固定在测角激光B滑轨(29)的一端，测角B激光(23)能在测角激光B滑轨(29)上平移；

所述的定位A传感器(16)和定位B传感器(21)是测距仪(3)的两个传感探头，分别与金刚石A压砧(18)和金刚石B压砧(20)的底面接触，用于测量金刚石对顶砧的总厚度；

在定位激光承台(8)上，安装有A图像传感器(10)和定位激光(11)，并由A转换光路(12)连接，A转换光路(12)内的光路转口处还安装有A半透反射镜(7)，A半透反射镜(7)与水平光路成45度角，以使定位激光(11)发出的光透过，并把来自金刚石A压砧(18)方向的光反射成竖直方向至A图像传感器(10)；

在定位调平激光承台(30)上，安装有定位调平辅助激光组支架(24)和B转换光路(26)以及由B转换光路(26)连接的B图像传感器(27)和定位调平激光(25)；在定位调平辅助激光组支架(24)上安装有定位调平辅助激光组(28)；在B转换光路(26)内的光路转口处还安装有B半透反射镜(33)，B半透反射镜(33)与水平光路成45度角，以使定位调平激光(25)发出的光透过，并把来自金刚石B压砧(20)方向的光反射成竖直方向至B图像传感器(27)；

定位激光(11)、A图像传感器(10)、测角定位A激光(13)、测角A激光(14)、测距仪(3)、测角定位B激光(22)、测角B激光(23)、定位调平辅助激光组(28)、定位调平激光(25)、B图像传感器(27)均与中央处理器(1)进行电气连接。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石对顶砧内样品厚度测量装置，其特征在于，所述的定位激光(11)与定位调平激光(25)所发出的激光是共轴的；测角定位A激光(13)和测角定位B激光(22)与定位调平激光(25)所发出的激光是平行的；定位激光(11)、测角定位A激光(13)、测角A激光(14)、定位调平激光(25)与测角定位B激光(22)、测角B激光(23)所发出的激光是共平面的。

3.根据权利要求1所述的一种金刚石对顶砧内样品厚度测量装置，其特征在于，所述的测角激光A滑轨(6)是圆弧形的，圆弧的圆心在金刚石A压砧(18)与A定位传感器(16)的接触面上；测角激光B滑轨(29)是圆弧形的，圆弧中心在金刚石B压砧(20)与B定位传感器(21)的接触面上。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石对顶砧内样品厚度测量装置，其特征在于，所述的定位调平辅助激光组(28)是由三个激光器在定位调平辅助激光组支架(24)上呈等边三角形排列构成，三个激光器发出的激光光线的交点在定位调平激光(25)所发出的光线上，定位调平辅助激光组支架(24)为同步转动支架，以实现定位调平辅助激光组(28)同时向内外角度调整。