[发明专利]一种微尺度火工品发火温度测量装置

权利要求书

1.一种微尺度火工品发火温度测量装置，包括单晶硅基底(1)，其特征在于：单晶硅基底(1)上生长一层二氧化硅绝缘层(2)，二氧化硅绝缘层(2)上通过MEMS工艺溅射铂微结构换能元(3-1)及与铂微结构换能元(3-1)连接的第一电极(3-2)，第一电极(3-2)作为铂微结构换能元(3-1)的电压输入端；同时在铂微结构换能元(3-1)中间利用MEMS工艺溅射铂温度敏感元件(4-1)，铂温度敏感元件(4-1)和第二电极(4-2)连接，铂温度敏感元件(4-1)的输入端和输出端分别连接两个第二电极(4-2)形成四线制测量法；

所述的铂微结构换能元(3-1)为圆环形结构，相邻圆环间距为100μm，最大圆环直径为1.5mm，最小圆环直径为400μm，线宽为100μm，厚度为215nm；

所述的铂温度敏感元件(4-1)为圆弧形，外圈直径为200μm，内圈直径为180μm，厚度为215nm，第二电极(4-2)和第一电极(3-2)具有相同的形状和尺寸。

2.根据权利要求1所述的一种微尺度火工品发火温度测量装置，其特征在于：所述的二氧化硅绝缘层(2)通过化学气相沉积生长而成，厚度为285nm。

3.根据权利要求1所述的一种微尺度火工品发火温度测量装置，其特征在于：所述的温度敏感元件(4-1)的电阻值采用四线制法测量，其中两端作为电源输入端，另外两端作为信号输出端，电源使用恒流源供电，两个信号输出端接示波器进行信号采集。

4.根据权利要求1所述的一种微尺度火工品发火温度测量装置，其特征在于：所述的铂微结构换能元(3-1)的两端作为电源的输入端，提供直流电压，为药剂的起爆提供能量。

5.根据权利要求1所述的一种微尺度火工品发火温度测量装置的制造方法，包括以下步骤：

步骤1：在单晶硅基底(1)上用化学气相沉积法生长一层二氧化硅绝缘层(2)；

步骤2：在二氧化硅绝缘层(2)上旋涂一层HDMS，提高光刻胶与二氧化硅绝缘层(2)的粘附性，旋涂转速为3000rpm，旋涂后在热板上120℃烘5min；接着在HDMS上旋涂一层EPG535光刻胶，然后光刻显影图形化；

图形化之后，利用磁控溅射的方法沉积215nm铂，通过剥离工艺形成铂微结构换能元(3-1)及与铂微结构换能元(3-1)连接的第一电极(3-2)、铂温度敏感元件(4-1)和与铂温度敏感元件(4-1)连接的第二电极(4-2)，得到微尺度火工品发火温度测量装置。