[发明专利]旋转轴及包含所述旋转轴的基板支撑装置

权利要求书

1.一种旋转轴，其特征在于，包括：

中心转轴，所述中心转轴的内部设有通气管道，所述通气管道的进气口设置于所述中心转轴的外壁，所述通气管道的出气口设置于所述中心转轴轴线方向上的一端；

中空外轴，所述中空外轴环绕所述中心转轴的轴线方向设置于所述中心转轴的外围，且所述中空外轴的内壁与所述中心转轴的外壁之间具有设定的间距；

所述中空外轴的内壁设有导气槽，所述导气槽环绕所述中心转轴的轴线方向设置，并连通所述通气管道的进气口；

所述中空外轴还设有供气管道，所述供气管道的进气口设置于所述中空外轴的外壁，所述供气管道的出气口连通所述导气槽；

所述中心转轴还具有成对设置的密封环凸，所述密封环凸环绕所述中心转轴的轴线方向设置于所述中心转轴的外壁，且所述通气管道的进气口在所述中心转轴的轴线方向上位于成对设置的所述密封环凸之间；所述中空外轴还具有成对设置的密封环槽，所述密封环槽环绕所述中心转轴的轴线方向设置于所述中空外轴的内壁，且所述导气槽在所述中心转轴的轴线方向上位于成对设置的所述密封环槽之间；所述密封环凸嵌设于所述密封环槽中。

2.根据权利要求1所述的旋转轴，其特征在于，所述密封环凸和所述密封环槽为多个且一一对应。

3.根据权利要求1所述的旋转轴，其特征在于，所述通气管道、所述导气槽和所述供气管道为多个，多个所述导气槽在所述中空外轴的内壁上沿所述中心转轴的轴线方向依次排列，多个所述通气管道的进气口在所述中心转轴的外壁上沿所述中心转轴的轴线方向依次排列并与所述导气槽一一对应。

4.根据权利要求1所述的旋转轴，其特征在于，所述密封环凸与所述密封环槽之间的径向间隙小于所述密封环凸与所述密封环槽之间的轴向间隙。

5.根据权利要求1所述的旋转轴，其特征在于，所述密封环凸的凸起高度小于所述密封环槽的凹陷深度。

6.根据权利要求1所述的旋转轴，其特征在于，所述密封环槽中的不同区域具有不同的凹陷深度，所述密封环槽中靠近所述导气槽一侧的凹陷深度大于所述密封环槽中远离所述导气槽一侧的凹陷深度。

7.根据权利要求1所述的旋转轴，其特征在于，所述中心转轴的一端连接固定于传动装置，并在所述传动装置的带动下绕其轴线旋转。

8.根据权利要求1所述的旋转轴，其特征在于，所述中空外轴的部分或全部结构由成对的半轴抱合构成。

9.一种基板支撑装置，其特征在于，包括：

用于承接并固定基板的基板卡盘，所述基板卡盘设置有第一喷气管和第二喷气管，所述第一喷气管和所述第二喷气管的出气口设置于所述基板卡盘上用于承接所述基板的承接面，所述第一喷气管用于向所述基板喷气并通过伯努利原理吸附所述基板，所述第二喷气管用于向所述基板喷气并吹浮起所述基板；

如权利要求1-8中任意一项所述的旋转轴，所述旋转轴的中心转轴连接并带动所述基板卡盘转动，所述旋转轴的通气管道的出气口连接所述第一喷气管和所述第二喷气管的进气口。

10.根据权利要求9所述的基板支撑装置，其特征在于，所述第一喷气管和所述第二喷气管的出气口为多个。

11.根据权利要求10所述的基板支撑装置，其特征在于，所述第一喷气管的出气口的喷气方向倾斜于所述承接面，并与所述承接面形成设定的夹角；所述第二喷气管的出气口的喷气方向垂直于所述承接面。

12.根据权利要求9所述的基板支撑装置，其特征在于，所述基板卡盘还设置有用于夹持固定所述基板的定位销，所述定位销通过气缸驱动，所述气缸通过气缸驱动气管连接所述旋转轴的所述通气管道。

13.根据权利要求9所述的基板支撑装置，其特征在于，所述基板卡盘还设置有用于将所述基板引导并限位于设定位置的导柱。