[发明专利]导静电基板保持装置

权利要求书

1.一种导静电基板保持装置，其特征在于，包括：

基板卡盘，用于固定并带动基板旋转；

中心转轴，所述中心转轴的一端连接所述基板卡盘，用于带动所述基板卡盘旋转；

导静电结构，所述导静电结构包括第一导静电结构和第二导静电结构，所述第一导静电结构用于电性连接所述基板与所述第二导静电结构，所述第二导静电结构环绕设置于所述中心转轴的外围并固定连接所述中心转轴的外壁；

中空外壳，所述中空外壳环绕设置于所述第二导静电结构的外围并通过轴承连接所述第二导静电结构，所述第二导静电结构电性连接所述轴承，所述轴承电性连接所述中空外壳；

密封壳体，所述密封壳体环绕设置于所述第二导静电结构的外围并固定连接所述中空外壳，且所述密封壳体在所述中心转轴轴线方向上位于所述基板卡盘与所述轴承之间；

所述密封壳体靠近所述中心转轴的内壁设有环绕所述中心转轴的第一环形密封齿，所述第二导静电结构远离所述中心转轴的外壁设有环绕所述中心转轴的第二环形密封齿，所述第一环形密封齿与所述第二环形密封齿在所述中心转轴轴线方向上相互交错并隔离所述基板卡盘与所述轴承。

2.根据权利要求1所述的导静电基板保持装置，其特征在于，所述轴承包括第一轴承和第二轴承，所述第一轴承设置于所述中空外壳靠近所述基板卡盘的一端，所述第二轴承设置于所述中空外壳远离所述基板卡盘的一端。

3.根据权利要求1所述的导静电基板保持装置，其特征在于，所述密封壳体由两个成对设置的半圆形壳体构成，两个所述半圆形壳体相互抱合连接于所述第二导静电结构的外围并通过紧固件在所述中心转轴轴线方向上与所述中空外壳固定连接。

4.根据权利要求1所述的导静电基板保持装置，其特征在于，所述第一环形密封齿与所述第二环形密封齿为多个。

5.根据权利要求1所述的导静电基板保持装置，其特征在于，交错设置的所述第一环形密封齿与所述第二环形密封齿之间留有空隙，并由所述空隙构成流道。

6.根据权利要求1所述的导静电基板保持装置，其特征在于，所述第一导静电结构包括：

导静电座子，所述导静电座子设置于所述基板卡盘的边缘，用于承接并电性连接所述基板；

导静电棒，所述导静电棒设置于所述基板卡盘的下方，用于电性连接所述导静电座子与所述第二导静电结构。

7.根据权利要求6所述的导静电基板保持装置，其特征在于，所述导静电座子为成对设置的多个，所述导静电棒为多个且与所述导静电座子一一对应。

8.根据权利要求6所述的导静电基板保持装置，其特征在于，所述基板上的静电经由所述导静电座子、所述导静电棒、所述第二导静电结构和所述轴承导出至所述中空外壳上。

9.根据权利要求1所述的导静电基板保持装置，其特征在于，所述基板卡盘还设置有用于夹持固定所述基板的定位销以及用于将所述基板引导并限位于设定位置的导柱。

10.根据权利要求1所述的导静电基板保持装置，其特征在于，所述导静电基板保持装置还包括基座，所述中空外壳电性连接并固定于所述基座。