[发明专利]小型高纯气体电动增压设备

权利要求书

1.一种小型高纯气体电动增压设备，包含：无油柱塞泵、驱动电机和自动启停装置，其特征在于，所述无油柱塞泵设置有进气口，所述进气口通过球阀（1）连接过滤器一（2），所述过滤器一（2）通过压力变送器三（16）连接气动进气阀（3）的入口，所述气动进气阀（3）的出口分别连接有气动旁通阀（26）和电动泵（4），所述电动泵（4）旁路上设置有气动旁通阀（26），所述气动旁通阀（26）的出口分别连接安全阀一（5）和气动泄放阀（25），所述气动泄放阀（25）连接单向阀（6）的入口，所述单向阀（6）的出口连接消音器（21），所述电动泵（4）连接所述安全阀一（5），所述安全阀一（5）连接气动输出阀（27）的入口，所述气动输出阀（27）的出口连接单向阀（6）的入口，所述单向阀（6）的出口连接纯化器（7）的一端，所述纯化器（7）的另一端连接气瓶（8），所述气瓶（8）通过过滤器二（9）连接压力变送器一（10），所述压力变送器一（10）通过减压阀二（12）连接压力变送器二（22），所述压力变送器二（22）通过输出阀（23）连接输出接口；所述压力变送器三（16）通过减压阀一（17）连接安全阀二（19），所述安全阀二（19）连接若干电磁阀（20），所述电磁阀（20）通过吹扫阀（21）、单向阀（6）和输出管路连接泄压阀（24）的一端，所述泄压阀（24）的另一端连接限流阀（14），所述限流阀（14）连接泄压接口。

2.根据权利要求1所述的小型高纯气体电动增压设备，其特征在于，所述过滤器一（2）和气动进气阀（3）之间的管路上与所述减压阀一（17）的管路上均设置有压力变送器三（16）。

3.根据权利要求1所述的小型高纯气体电动增压设备，其特征在于，所述压力变送器一（10）上设置有压力表一（11）。

4.根据权利要求1所述的小型高纯气体电动增压设备，其特征在于，所述压力变送器二（22）上设置有压力表二（13）。

5.根据权利要求1所述的小型高纯气体电动增压设备，其特征在于，所述压力变送器三（16）上设置有压力表三（15）。

6.根据权利要求1所述的小型高纯气体电动增压设备，其特征在于，所述安全阀二（19）上设置有压力表四（18）。