[发明专利]一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器

权利要求书

1.一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：包括衬底（1），所述衬底（1）上固定有两个镜像设置的单刀多掷开关（2），所述单刀多掷开关（2）包括一个输入端（2-1）和至少两个输出端（2-2），所述单刀多掷开关（2）的输入端（2-1）连接有输入信号线（4），两个单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）之间设置有交指型滤波器（3），所述单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）与交指型滤波器（3）之间通过输出信号线（5）连接，所述输入信号线（4）和输出信号线（5）的两侧设有地线（6）。

2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）上固定有锚点（2-3），所述锚点（2-3）上固定连接在悬臂桥（2-4）的一端，所述输出信号线（5）靠近输出端（2-2）的一端上固定有触点（2-5），所述悬臂桥（2-4）的另一端悬在触点（2-5）的正上方。

3.根据权利要求2所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述悬臂桥（2-4）的正下方设置有驱动电极（2-6），所述驱动电极（2-6）连接有引线（2-7）。

4.根据权利要求2所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述悬臂桥（2-4）上设置有释放孔（2-8）阵列，所述释放孔（2-8）阵列为1-5排、3-10列，所述释放孔（2-8）直径大小为8-15μm，两个相近释放孔（2-8）之间的距离为15-25μm。

5.根据权利要求3所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述驱动电极（2-6）面向悬臂梁（2-4）的一面设置有一层介质层（2-9）。

6.根据权利要求5所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述介质层（2-9）采用氮化硅或氧化铪。

7.根据权利要求1所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述交指型滤波器（3）的内部设置有两组相互平行的耦合线谐振器（3-1），所述耦合线谐振器（3-1）一端开路、另一端短路依次交叉排列，所述交指型滤波器（3）与单刀多掷开关（2）输出端（2-2）的数量相同，每个交指型滤波器（3）的耦合线谐振器（3-1）的数量和尺寸互不相同。

8.根据权利要求1所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述单刀多掷开关（2）为单刀四掷开关，所述单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）有四个，相邻的两个输出端（2-2）之间呈72°夹角。

9.根据权利要求1或8所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述输出信号线（5）包括第一输出信号线（5-1）、第二输出信号线（5-2）、第三输出信号线（5-3）和第四输出信号线（5-4），所述第一输出信号线（5-1）和第四输出信号线（5-4）在第二输出信号线（5-2）和第三输出信号线（5-3）的外侧，所述地线（6）上固定有空气桥支点（7），所述第一输出信号线（5-1）、第四输出信号线（5-4）上分别通过空气桥支点（7）架设有空气桥（8），所述第一输出信号线（5-1）、第四输出信号线（5-4）的输出端（2-2）相对应的引线（2-7）上分别通过空气桥支点（7）架设有空气桥（8）。