[发明专利]一种波导光亮阳极氧化热控涂层的制备方法

权利要求书

1.一种波导光亮阳极氧化热控涂层的制备方法，其特征在于，所述方法用于对目标波导进行表面处理，所述目标波导包括前端喇叭和波导腔，前端喇叭以阵列形式排布在波导腔的正面，前端喇叭的下端与所述波导腔相连通，所述波导腔内部设置波导的电子器件，所述制备方法包括下述步骤：

步骤(1)：对目标波导表面进行化学抛光；

步骤(2)：对所述目标波导的预定区域进行覆盖保护，对所述目标波导的波导腔采用预定溶液进行灌注；

步骤(3)：对经所述步骤(2)处理的所述目标波导进行硫酸阳极氧化；

步骤(4)：将阳极氧化后的所述目标波导置于碱性溶液中进行中和；

步骤(5)：利用预定温度的去离子水对所述目标波导进行封闭处理，

其中，所述目标波导背面具有测试探头，正面具有内腔，所述步骤(2)包括：

步骤(2.1)、对所述目标波导的背面整体涂覆可剥涂料，于80℃～85℃下烘烤2h；

步骤(2.2)、对所述目标波导从所述前端喇叭注入去离子水，使得所述去离子水的水位与所述目标波导的前端喇叭底端齐平；

步骤(2.3)、使用硅胶塞对所述前端喇叭的喇叭口进行封堵，在所述硅胶塞顶部涂覆可剥涂料进行密封，并且涂覆后进行室温固化。

2.根据权利要求1所述的波导光亮阳极氧化热控涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中化学抛光所采用的抛光溶液包括：磷酸(H₃PO₄,85％)800ml/L～820ml/L、硫酸(H₂SO₄,98％)100ml/L～120ml/L、硝酸(HNO₃,65％)50ml/L～60ml/L、抑雾剂A以及光亮剂B，抛光温度为100℃～102℃，抛光时间为75s。

3.根据权利要求1所述的波导光亮阳极氧化热控涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)包括：将所述目标波导装挂入槽进行硫酸阳极氧化，所采用的阳极氧化工艺参数为：槽液硫酸含量160g/L～180g/L、槽液温度15℃～16℃、阳极电流密度0.8A/dm²、稳定槽电压17V～18V，氧化时间30min～33min。

4.根据权利要求1所述的波导光亮阳极氧化热控涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)包括：将所述目标波导在1％氨水中浸泡10s～15s。

5.根据权利要求1所述的波导光亮阳极氧化热控涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)包括：将所述目标波导置于95℃～98℃、pH值6.5～7.0的去离子中进行封闭，封闭时间25min～30min。

6.一种用于航天器的波导，其特征在于，所述波导的表面经过权利要求1-5中任意一项所述的方法进行阳极氧化。