[发明专利]位移测量设备及其位移测量方法和存储介质

权利要求书

1.一种位移测量设备，用于对测量对象的预定位置的位移进行测量，所述位移测量设备包括：

光投射器，其包括测量光源和用于接收来自所述测量光源的光的光投射透镜，并且所述光投射器被配置为向所述测量对象发射在第一方向上延伸的带状的测量光；

扫描部，其被配置为使用所述测量光在与所述第一方向交叉的第二方向上进行扫描；

受光器，其包括二维受光元件，所述二维受光元件被配置为响应于接收到从所述测量对象反射回的测量光来输出位移测量所用的受光量分布，并且所述二维受光元件还被配置为响应于接收到从所述测量对象反射回的光来输出图像生成所用的受光量分布；

亮度图像生成器，其被配置为基于所述图像生成所用的受光量分布来生成所述测量对象的亮度图像；

设置单元，其被配置为接收对在所述扫描部能够扫描的范围中进行位移测量的测量位置的设置，并且所述设置单元还被配置为接收对所述亮度图像生成器所生成的亮度图像中的进行所述测量位置的校正的位置校正所用的区域的设置；

校正信息存储部，其被配置为存储所述区域中的位置校正信息，并且存储所述设置单元所设置的所述区域和所述测量位置之间的相对位置信息；

位置校正器，其被配置为在所述位移测量设备的操作时，在所述亮度图像生成器新生成的亮度图像中通过使用所述校正信息存储部中所存储的位置校正信息来确定所述测量对象的位置和姿势，以通过使用所述相对位置信息来校正所述测量位置；

测量控制器，其被配置为控制所述光投射器和所述扫描部，以使所述测量光照射所述位置校正器校正后的测量位置；以及

位移测量单元，其被配置为基于在所述受光器接收到被发射到所述位置校正器校正后的测量位置并从该测量位置反射回的测量光的情况下从所述受光器输出的位移测量所用的受光量分布，来测量该测量位置的位移。

2.根据权利要求1所述的位移测量设备，其中，所述位置校正信息是所述亮度图像的一部分。

3.根据权利要求1所述的位移测量设备，其中，所述位置校正信息是所述亮度图像的边缘信息。

4.根据权利要求1所述的位移测量设备，还包括边缘提取单元，所述边缘提取单元被配置为提取所述亮度图像中的所述测量对象的边缘，其中，所述位置校正信息是与所述边缘提取单元所提取的边缘有关的边缘信息。

5.根据权利要求4所述的位移测量设备，还包括显示器，所述显示器被配置为将所述边缘提取单元所提取的边缘以叠加在所述亮度图像上的方式进行显示。

6.根据权利要求1所述的位移测量设备，其中，所述设置单元被配置为设置对所述测量位置的位移进行测量的位移测量范围，

所述位移测量设备还包括显示器，所述显示器被配置为以所述亮度图像中的X坐标是所述第一方向上的坐标、而所述亮度图像中的Y坐标是所述第二方向上的坐标的方式，来显示所述亮度图像，以及

所述测量控制器被配置为基于所述位置校正器校正后的测量位置的Y坐标以及所述设置单元所设置的位移测量范围，来控制所述光投射器和所述扫描部以使所述测量光照射所述位置校正器校正后的测量位置。

7.根据权利要求6所述的位移测量设备，其中，所述测量控制器还被配置为基于所述位置校正器校正后的测量位置的X坐标以及所述设置单元所设置的位移测量范围来控制所述光投射器和所述扫描部。

8.根据权利要求1所述的位移测量设备，还包括照明器，所述照明器被配置为向所述测量对象发射均匀的照明光，

在所述照明器向所述测量对象发射均匀的照明光、并且所述亮度图像生成器生成所述测量对象的亮度图像之后，所述光投射器向所述测量对象发射所述测量光，并且所述受光器输出所述位移测量所用的受光量分布，以及

在所述位置校正器在所述亮度图像生成器新生成的亮度图像中通过使用所述校正信息存储部中所存储的位置校正信息确定了所述测量对象的位置和姿势、并且所述位置校正器通过使用所述相对位置信息校正了所述测量位置之后，所述测量控制器控制所述光投射器和所述扫描部以使所述测量光照射所述位置校正器校正后的测量位置。