[发明专利]一种精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构

权利要求书

1.一种精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构，包括：编码器(1)、旋臂主轴、悬臂(9)、坩埚(8)、旋转驱动部件和升降驱动部件；

其特征在于：所述旋臂主轴包括：上半轴和下半轴(10)，所述上半轴包括空心轴(6)和同轴套装在空心轴内部的芯轴(7)，所述芯轴(7)与所述空心轴(6)之间的配合方式保证：当所述空心轴(6)绕其轴线旋转运动时能够带动所述芯轴(7)同步转动，当所述空心轴(6)沿其轴线做升降运动时，所述芯轴(7)不动，使所述空心轴(6)相对芯轴(7)做升降运动；所述上半轴的空心轴(6)与所述下半轴(10)同轴固接；

所述芯轴(7)的上端伸出所述空心轴(6)后通过联轴器(2)与所述编码器(1)相连；所述悬臂(9)的一端与所述下半轴(10)或空心轴(6)固接，另一端用于放置坩埚(8)；所述旋转驱动部件用于驱动所述下半轴(10)做旋转运动，所述升降驱动部件用于驱动所述下半轴(10)做升降运动。

2.如权利要求1所述的精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构，其特征在于，所述空心轴(6)的内孔为内六角孔，所述芯轴(7)为与空心轴(6)的内六角孔配合的六角棒材。

3.如权利要求1或2所述的精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构，其特征在于，所述编码器(1)的固定部分通过编码器底座(3)安装在上固定板(4)上，所述编码器底座(3)通过轴承支撑在所述芯轴(7)上，与所述上固定板(4)固接的上轴套(5)套装在所述空心轴(6)外。

4.如权利要求1或2所述的精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构，其特征在于，所述旋转驱动部件包括：电机(14)和传动机构，所述电机(14)通过所述传动机构将动力传递至下半轴(10)，从而带动所述下半轴(10)绕其自身轴线转动。

5.如权利要求4所述的精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构，其特征在于，所述传动机构为皮带传动机构(13)。

6.如权利要求1或2所述的精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构，其特征在于，所述升降驱动部件为气缸(15)，所述气缸(15)的活塞端与所述下半轴(10)固接。