[发明专利]一种等离子炬、尾气处理系统有效
申请号: | 201911090924.4 | 申请日: | 2019-11-09 |
公开(公告)号: | CN110975538B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 黄培恩;刘金浩;苏深伟 | 申请(专利权)人: | 上海硕余精密机械设备有限公司 |
主分类号: | B01D53/32 | 分类号: | B01D53/32;B01D53/18;H05H1/34 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 陶金龙;张磊 |
地址: | 200000 上海市奉贤区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 等离子 尾气 处理 系统 | ||
1.一种等离子炬,其特征在于,包括:
安装座,其内设有冷却腔室;
载气进气结构,设于所述安装座上方,所述载气进气结构包括本体、设于所述本体内的气室以及设于所述气室内的弧根室,所述弧根室连通所述气室,所述本体通过其下端进入至所述冷却腔室中;
阴极,设于所述本体上方,所述阴极通过其下端进入至所述弧根室中;
阳极,设于所述安装座下方,所述阳极通过其上端进入所述冷却腔室,并进一步进入至所述弧根室中与所述阴极的下端相对设置;所述阳极上下贯通设有弧柱通道,所述弧柱通道包括设于上端的第一扩口结构和设于下端的第二扩口结构,第一扩口结构为上大下小的喇叭口,所述第二扩口结构为上小下大的喇叭口并为按台阶式递延的多重扩口结构,所述多重扩口结构中依次设有口径逐渐扩大的扩口台阶,所述第二扩口结构从所述安装座下方露出;其中,
所述气室内设有旋流器,所述旋流器包括旋流器主体,所述旋流器主体环绕所述阴极和阳极设置,并将所述阴极的下端和所述阳极的上端封闭,在所述旋流器主体内的封闭空间形成所述弧根室,所述旋流器主体的侧壁上设有多个气孔,将所述弧根室与所述气室连通,所述气孔在所述旋流器主体的侧壁圆周上均匀分布,并按侧壁圆周的径向切向设置;
所述阴极上端罩有阴极帽,所述阴极帽上设有阴极散热片;所述阳极进入所述冷却腔室中的部分的外侧上设有阳极散热片;
所述安装座的上部两侧分设有连通所述冷却腔室的冷却水入口和冷却水出口。
2.根据权利要求1所述的等离子炬,其特征在于,所述阴极上端具有扩径部,所述扩径部容于所述阴极帽内,阴极调节螺丝自所述阴极帽上端旋入所述阴极帽中并接触所述扩径部上端,所述扩径部下方的所述阴极帽内设有弹性结构。
3.根据权利要求1或2所述的等离子炬,其特征在于,所述阴极与所述本体之间设有绝缘套。
4.根据权利要求1所述的等离子炬,其特征在于,所述第二扩口结构下端突出于所述安装座的底面,磁环环绕所述阳极设于所述第二扩口结构下端,压盖将所述磁环固定在所述阳极的下端上。
5.根据权利要求1所述的等离子炬,其特征在于,所述本体的上部设有连通所述气室的载气入口。
6.一种尾气处理系统,设有权利要求1~5任一所述的等离子炬,其特征在于,所述尾气处理系统包括依次连接的所述等离子炬,反应腔,过渡腔,储水槽和喷淋吸收塔;其中,所述反应腔设有尾气入口和压缩空气入口,所述储水槽还连接泵,所述泵通过阀门分别连接所述过渡腔和喷淋吸收塔,所述喷淋吸收塔上设有排气口。
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