[发明专利]一种电磁变距式元件转移装置

权利要求书

1.一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：其特征在于：其特征在于：包括底板（11）、与底板（11）连接的立板（12）以及与立板（12）连接的顶板（13）；所述底板（11）的顶部设有横向移料机构；所述横向移料机构上设有承托板（2）；所述承托板（2）设有用于放置元件晶片的第一静电吸附板（21）以及用于放置目标基板的第二静电吸附板（22）；（1特征在于）

所述顶板（13）的底部设有纵向移料机构；所述纵向移料机构上设有基座（3）；所述基座（3）内套设有电磁变距抓料机构；所述基座（3）与电磁变距抓料机构之间设有第一电磁铁（31）以及抓料复位弹簧（32）；所述横向移料机构用于将第一静电吸附板（21）以及第二静电吸附板（22）移动至电磁变距抓料机构的底部。

2.根据权利要求1所述的一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：所述横向移料机构包括设于底板（11）顶部的横向直线电机（41）以及与横向直线电机（41）连接的横向滑块（42）；所述承托板（2）设于横向滑块（42）上。

3.根据权利要求1所述的一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：所述纵向移料机构包括设于顶板（13）底部的纵向直线电机（51）以及与纵向直线电机（51）连接的纵向滑块（52）；所述基座（3）设于纵向滑块（52）上。

4.根据权利要求1所述的一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：所述纵向移料机构包括固定架（6）；所述固定架（6）的一端设有放置槽；所述第一电磁铁（31）的一端连接于基座（3）；所述第一电磁铁（31）的另一端活动设于放置槽内；所述抓料复位弹簧（32）套设于第一电磁铁（31）外。

5.根据权利要求4所述的一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：所述第一电磁铁（31）与基座（3）之间设有压电微动片（61）。

6.根据权利要求4所述的一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：所述固定架（6）的另一端设有固定边框（62）；所述固定边框（62）设有纵向变距单元（63）、横向变距单元（64）以及多个静电抓取头（7）；所述横向变距单元（64）用于调节静电抓取头（7）的横向间距；所述纵向变距单元（63）用于调节静电抓取头（7）的纵向间距。

7.根据权利要求6所述的一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：所述横向变距单元（64）包括横向支撑轴（8）；所述横向支撑轴（8）设有多个横向固定部（81）；所述横向固定部（81）的一侧设有第二电磁铁（82）；所述静电抓取头（7）套设于横向支撑轴（8）上；所述静电抓取头（7）的一侧设有与第二电磁铁（82）正对设置的第三电磁铁（83）；所述静电抓取头（7）的另一侧与相邻横向固定部（81）的另一侧设有横向复位弹簧（84）。

8.根据权利要求7所述的一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：所述纵向变距单元（63）包括与固定边框（62）连接的纵向支撑轴（9）；所述纵向支撑轴（9）设有多个纵向固定部（91）；所述纵向固定部（91）的一侧设有第四电磁铁（92）；所述纵向支撑轴（9）套接有与横向支撑轴（8）抵靠的抵靠件（93）；所述抵靠件（93）的一侧设有与第四电磁铁（92）正对设置的第五电磁铁（94）；所述抵靠件（93）的另一侧与相邻纵向固定部（91）的另一侧设有纵向复位弹簧（96）。

9.根据权利要求7所述的一种电磁变距式元件转移装置，其特征在于：所述纵向变距单元（63）包括与固定边框（62）连接的纵向支撑轴（9）；所述纵向支撑轴（9）设有多个纵向固定部（91）；所述纵向固定部（91）的一侧设有第四电磁铁（92）；所述纵向支撑轴（9）套接有与横向支撑轴（8）抵靠的抵靠件（93）；所述抵靠件（93）的一侧设有与第四电磁铁（92）正对设置的第五电磁铁（94）；所述抵靠件（93）的另一侧与相邻纵向固定部（91）的另一侧设有纵向复位弹簧（96）。