[发明专利]一种溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法

说明书

本发明公开了一种溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法，包括如下步骤：（1）将非晶态合金材料铸造成形，得到弹性膜片；（2）所述弹性膜片包括平板形状的受压部和圆柱状的支撑部，所述弹性膜片受压部的厚度包含预留加工厚度；（3）根据具体使用需求将所述弹性膜片的受压部加工至指定厚度；（4）将加工完成的弹性膜片的受压部进行精密磨削，精密磨削结束后再进行精密抛光。本发明所提供的溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法采用外部顶端切割形成受压部，可以将弹性膜片制作的更薄，可以向微压方向进一步扩展量程，并且大大提高工效，提高性能，残余应力小，提高传感器测量精度，延长弹性膜片使用寿命。

技术领域

本发明涉及压力传感器加工技术领域，具体涉及一种溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法。

背景技术

现行压力传感器弹性膜片的加工工艺都是用整块钢棒切削加工成型的，具体是将钢棒一端掏空，然后在腔体内部切削加工，在另一端形成膜片，这种加工方式切削工作量大，膜片残余应力大，敏感元件的膜片部分在加工小量程的传感器时，因为膜片要求很薄，加工难度急剧增加，平整度光洁度都受到限制，越薄越难加工，使得量程不能向微压方向进一步发展。

发明内容

本发明的目的就是为了解决上述问题，提供了一种溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法，包括如下步骤：

（1）将非晶态合金材料铸造成形，得到弹性膜片；

（2）所述弹性膜片包括平板形状的受压部和圆柱状的支撑部，所述弹性膜片受压部的厚度包含预留加工厚度；

（3）根据具体使用需求将所述弹性膜片的受压部加工至指定厚度；

（4）将加工完成的弹性膜片的受压部进行精密磨削，精密磨削结束后再进行精密抛光。

进一步的，所述非晶态合金为铁镍钴合金。

进一步的，所述步骤（3）中的加工方式为线切割、磨削和电火花中的一种。

进一步的，所述步骤（1）中的铸造方法为注塑成型、吹塑成型和铸造成型中的一种。

本发明的有益效果是：本发明的压力传感器弹性膜片加工方法改变了原有的弹性膜片加工采用的内部掏空的加工方法，采用外部顶端切割形成受压部，可以将弹性膜片制作的更薄，可以向微压方向进一步扩展量程，并且大大提高工效，目前国内外一直采用的17-4PH材料硬度只能达到HRc38-43，属于中等硬度，要达到对受压部超精密加工，实现起来非常困难，成本非常高昂，本方法采用材料硬度能达到HRc60以上，比前者硬度高出一半，即使在很薄的弹性膜片受压部上进行超精密抛光也变得容易了，可以大大节省成本，提高性能，残余应力小，提高传感器测量精度，延长弹性膜片使用寿命。

具体实施方式

下面的实施例可以使本领域技术人员更全面地理解本发明，但不以任何方式限制本发明。

一种溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法，包括如下步骤：

（1）将铁镍钴合金非晶态合金材料铸造成形，得到弹性膜片；

（2）所述弹性膜片包括平板形状的受压部和圆柱状的支撑部，所述弹性膜片受压部的厚度包含加工余量；

（3）根据具体使用需求将所述弹性膜片的受压部通过线切割方式切割至指定厚度；

（4）将加工完成的弹性膜片的受压部进行精密磨削，精密磨削结束后再进行精密抛光。

本领域技术人员应理解，以上实施例仅是示例性实施例，在不背离本发明的精神和范围的情况下，可以进行多种变化、替换以及改变。