[发明专利]一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置在审
申请号: | 201911092450.7 | 申请日: | 2019-11-11 |
公开(公告)号: | CN110763714A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 吴幸;陈新倩;徐何军 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | G01N23/2005 | 分类号: | G01N23/2005;G01N23/20033;G01N23/04;G01N1/28;G01N1/44 |
代理公司: | 31215 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) | 代理人: | 徐筱梅;张翔 |
地址: | 200241 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二维材料 衬底 蓝宝石 恒温水浴 剥离器 显示仪 检测 剥离 综合控制柜 扩展性 剥离过程 过程实施 自动剥离 操作臂 操控 鼓泡 夹杯 加热 生长 脱离 移动 | ||
1.一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置,其特征在于,该装置包括恒温水浴仪(1)、自动控制样品剥离器(2)及检测显示仪(3);
所述恒温水浴仪(1)由恒温水浴锅(11)、数显控温表盘(12)及减震台(13)构成,所述恒温水浴锅(11)设有数个,各恒温水浴锅温度不同;数显控温表盘(12)设有温度显示屏(121)及温度调整操作键(122);数个恒温水浴锅(11)彼此相连置于减震台(13)上;
所述自动控制样品剥离器(2)由夹样操作臂(21)、夹杯操作臂(22)、滑轨(23)及综合控制柜(24)构成;所述夹样操作臂(21)、夹杯操作臂(22)设于滑轨(23)上,与综合控制柜(24)电连接;滑轨(23)与恒温水浴仪(1)相连;其中,夹样操作臂(21)设有自由移动第一伸缩臂(211),自由移动第一伸缩臂(211)上设有样品载物台(2121)及电动夹块(2122),电动夹块(2122)与接触样品的一面贴有压力传感器(2123);夹杯操作臂(22)设有自由移动第二伸缩臂(221),且自由移动第二伸缩臂(221)末端设有两个U型杯夹(222),U型杯夹(222)的前端设有橡胶软垫;
所述检测显示仪(3)由数码显微镜(31)及显示屏(32)构成;所述数码显微镜(31)为两件,分别设于样品载物台(2121)的正上方和侧方;数码显微镜(31)及显示屏(32)与自动控制样品剥离器(2)的综合控制柜(24)连接;所述的显示屏(32)置于减震台(13)上。
2.根据权利要求1所述温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置,其特征在于,所述综合控制柜(24)设有夹样操作臂和夹杯操作臂的操作钮及电源。
3.根据权利要求1所述温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置,其特征在于,所述数个恒温水浴锅的温度分别设置为90~120℃、60~80℃、室温。
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