[发明专利]基板残材侦测方法及基板残材侦测装置有效
申请号: | 201911092669.7 | 申请日: | 2019-11-11 |
公开(公告)号: | CN110885181B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 李世龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C03B33/023 | 分类号: | C03B33/023;G01V8/10 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 张晓薇 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板残材 侦测 方法 装置 | ||
本揭示提供了一种基板残材侦测方法及基板残材侦测装置。所述基板残材侦测方法包括下列步骤:在基板切割装置上安装传感器于所述基板切割装置的切割部、设置基板残材检测软件于所述基板切割装置、利用所述切割部将基板自基板玻璃中分离、及利用所述切割部切割基板分离步骤中所产生的基板残材。其中,利用所述传感器侦测所述基板残材是否掉落,并透过所述基板残材检测软件于掉落状态异常时启动警报,其可更精准地判断基板残材的掉落是否异常,藉此提前预防基板切割品质产生异常以提升良率。
【技术领域】
本揭示涉及一种侦测方法及侦测装置,特别涉及一种基板残材侦测方法及基板残材侦测装置。
【背景技术】
在现有技术使用于液晶显示器的玻璃基板的生产过程中,基板切割装置的切割部负责将基板从基板玻璃中分离出来,并将多余的基板残材进行丢弃。
然而,当所述切割部的刀压设置不当时,基板残材可能会出现提前掉落或者不掉落的情况,这两种情况均会导致基板玻璃切割制程不良的产生。
于当前产线中用以监测基板残材是否提前掉落的方法为:通过监控残材夹具的马达的扭力值以判断基板残材是否提前掉落。
其中:
在基板残材没有提前掉落的情况下,残材夹具应该正常夹取。理论正常扭力值范围为A。
若基板残材提前掉落,则残材夹具处于空夹状态,此时的扭力值为B。
当A不等于B时,设备报警提升人员异常发生,人员需要优化切割参数。
现有技术的技术问题为:
随着残材夹具上的橡胶垫片使用时间的增长,橡胶垫片会慢慢磨损。残材夹具进行夹取时的实际扭力值C会慢慢超出A的范围值,导致设备错误触发警报导致产能损失。
【发明内容】
为解决上述技术问题,本揭示的一目的在于提供一种基板残材侦测方法及一种基板残材侦测装置,其可更精准地判断基板残材的掉落是否异常,藉此提前预防基板切割品质产生异常以提升良率。此外,本揭示的基板残材侦测方法亦可克服现有技术中因残材夹具上橡胶垫片的磨损而可能导致错误触发警报的情况,从而提升设备产能。
为达成上述目的,本揭示提供一种基板残材侦测方法,其包含下列步骤:
在基板切割装置上安装传感器于所述基板切割装置的切割部;
设置基板残材检测软件于所述基板切割装置;
利用所述切割部将基板自基板玻璃中分离;以及
利用所述切割部切割基板分离步骤中所产生的基板残材;
其中,利用所述传感器侦测所述基板残材是否掉落,并透过所述基板残材检测软件于掉落状态异常时启动警报。
于本揭示的实施例中,当利用所述切割部切割基板分离步骤中所产生的所述基板残材后,利用夹具夹取所述基板残材,以使所述基板残材自所述基板玻璃分离。
于本揭示的实施例中,当利用所述夹具夹取所述基板残材前,所述传感器已侦测到所述基板残材的掉落,则判定所述基板残材提前掉落,并透过所述基板残材检测软件启动所述警报。
于本揭示的实施例中,当利用所述夹具夹取所述基板残材后,所述传感器侦测到所述基板残材的掉落,则判定所述基板残材正常掉落。
于本揭示的实施例中,当利用所述夹具夹取所述基板残材后,所述传感器未侦测到所述基板残材的掉落,则判定所述基板残材未掉落,并透过所述基板残材检测软件启动所述警报。
于本揭示的实施例中,所述传感器为光电传感器。
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