[发明专利]用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法

权利要求书

1.一种确定带电粒子显微镜的像差的方法，所述方法包括以下步骤：

提供带电粒子显微镜，其中所述带电粒子显微镜至少部分地由用户操作；

用所述带电粒子显微镜获得图像数据集合；

处理所述图像数据集合，以确定所述带电粒子显微镜的像差；

其特征在于：

所述图像数据集合由所述用户在专用使用所述带电粒子显微镜的期间获得；且

所述处理步骤在所述专用使用期间进行。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述处理步骤在由所述用户采集所述图像数据集合的步骤期间进行。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述由所述用户采集所述图像数据集合的步骤包括以下一个或多个情况：导航所述带电粒子显微镜，和/或调节所述带电粒子显微镜的聚焦设置。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述图像数据包括图像和对应的图像设置。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述图像数据至少包括在所述带电粒子显微镜的不同图像设置下的多个单独图像。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其中对所述图像数据集合的所述处理包括分析所述图像的步骤。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述分析包括对所述图像使用算法的步骤，其中所述算法尤其是快速傅里叶变换。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中所述分析包括计算相对图像位移。

9.根据权利要求6、7或8所述的方法，其中所述分析包括在至少一个方向计算相对图像清晰度。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其包括步骤：向所述用户指示处理所述图像数据集合的所述步骤的结果。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述指示步骤包括指示已确定像差的步骤。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其包括基于所述确定的像差调节所述带电粒子显微镜的至少一个设置的步骤。

13.一种用于检查标本的带电粒子显微镜，其包括：

光学柱，其包含带电粒子源和用于将从所述带电粒子源发射的带电粒子束引导到标本上的照明器；

标本台，其位于所述照明器下游并且布置用于保持所述标本；

检测器装置，其用于响应于从所述带电粒子源发射的带电粒子的入射而检测源自所述标本的发射；和

控制单元，其用于执行所述带电粒子显微镜的操作；

其特征在于，将所述控制单元布置成通过处理由用户用所述带电粒子显微镜采集的图像数据集合，确定所述带电粒子显微镜的至少一个像差。

14.根据权利要求13所述的带电粒子显微镜，其中将所述控制单元布置成在用户采集所述图像数据集合期间处理所述图像数据集合。

15.根据权利要求13或14所述的带电粒子显微镜，其中将所述控制单元布置成在所述带电粒子显微镜由用户使用期间，尤其在所述带电粒子显微镜由用户导航和/或聚焦期间处理所述图像数据集合。

16.根据权利要求13至15所述的带电粒子显微镜，其包括用于存储所述图像数据集合的存储单元。

17.根据权利要求13至16中任一项所述的带电粒子显微镜，其中将所述控制单元布置成执行根据方法权利要求1至12中一项或多项的方法。