[发明专利]一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜压电声波谐振器，其特征在于，包括：

从上至下依次叠层的第一电极、压电感应振荡片和第二电极；

所述第一电极、压电感应振荡片和第二电极在垂直于所述压电感应振荡片表面的方向上设有重叠的区域；

在所述重叠的区域内，所述压电感应振荡片与所述第一电极之间设有第一间隙；和/或，

所述压电感应振荡片与所述第二电极之间设有第二间隙。

2.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一间隙或所述第二间隙的高度为10纳米至10微米。

3.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一间隙或所述第二间隙为封闭的空间。

4.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述封闭的空间中填充有第一气体。

5.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一气体包括氮气、惰性气体或空气。

6.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电感应振荡片的部分边界暴露在空气中，所述第一间隙或所述第二间隙通过所述部分边界与外部空气相通。

7.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电感应振荡片和所述第一电极之间设有第一柱体，所述第一柱体将所述第一间隙分割为密封或相通的多个第一子间隙和/或，

所述压电感应振荡片和所述第二电极之间设有第二柱体，所述第二柱体将所述第二间隙分割为密封或相通的多个第二子间隙。

8.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极之间、所述压电感应振荡片的外周设有第一介质层，且所述压电感应振荡片体的外周与所述第一介质层之间设有隔离空间。

9.如权利要求8所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述隔离空间与所述第一间隙相通或不通；和/或，

所述隔离空间与所述第二间隙相通或不通。

10.如权利要求8所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述隔离空间为密封空间或所述隔离空间与外部空气相通。

11.如权利要求10所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一间隙和所述第二间隙通过所述隔离空间相通。

12.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第二电极下方设有第一基板，所述第二电极与所述压电感应振荡片之间设有第二间隙；所述第一电极与所述压电感应振荡片之间设有第一间隙。

13.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第二电极下方设有第二基板，所述第二基板设有第一空腔，所述重叠的区域位于所述第一空腔上方、所述第一空腔边界围成的区域内，所述第一电极与所述压电感应振荡片之间设有第一间隙。

14.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第二电极下方设有第三基板，所述第三基板中设有布拉格反射层，所述重叠的区域位于所述布拉格反射层上方、所述布拉格反射层边界围成的区域内，所述第一电极与所述压电感应振荡片之间设有第一间隙。

15.如权利要求12或13所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第二电极与所述压电感应振荡片之间设有第二间隙。

16.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电感应振荡片的边界与所述重叠的区域的边界重合。