[发明专利]一种半导体生产清洗装置

权利要求书

1.一种半导体生产清洗装置，包括清洁箱，其特征在于：所述清洁箱内设有用于夹取或移动单晶硅圆片的夹紧腔，所述清洁箱内还设有贯穿所述夹紧腔前后端壁的贯通腔，所述夹紧腔下端壁设有传送单晶硅圆片的传送带；

所述夹紧腔内设有可夹取所述传送带上的物品的夹取机构，所述夹取机构包括可在所述夹紧腔内升降的升降板以及两个连接所述升降板与所述夹紧腔上端壁的升降弹簧，所述升降弹簧内设有下端壁连通所述夹紧腔的滑动槽，所述滑动槽后端壁设有贯穿所述滑动槽后端壁的移动腔，所述滑动槽内滑动连接有移动块，所述移动块内设有下端壁连通所述滑动槽的电磁腔，所述电磁腔前端壁固定有后端贯穿所述电磁腔后端壁与所述移动腔且位于所述夹紧腔内的电磁杆，所述电磁腔内还设有两块相斥相吸的磁铁块，所述磁铁块下端固定有下端贯穿所述电磁腔下端壁与所述滑动槽下端壁且位于所述夹紧腔内的夹紧杆，两个旋转齿轮相互啮合，所述旋转齿轮内设有两个贯穿所述旋转齿轮上下端面的伸缩腔，所述夹紧杆下端贯穿所述伸缩腔且所述夹紧杆上固定有支撑所述旋转齿轮的限位块，所述伸缩腔靠近所述旋转齿轮中心的端壁固定有一端与所述夹紧杆固定连接的伸缩弹簧；

所述夹紧腔下端壁内设有可对单晶硅圆片进行清洗烘干的清洁机构，所述清洁箱内还设有驱动所述升降板升降以及可驱动所述旋转齿轮转动的驱动机构，所述夹紧腔后端壁内设有可控制所述移动块左右运动的移动机构，通过所述夹取机构的升降以及被所述驱动机构带动转动的旋转齿轮，使被所述夹紧杆夹紧的单晶硅圆片可在所述清洁机构内升降旋转，从而实现减小清洗时对单晶硅圆片的损伤。

2.根据权利要求 1 所述的一种半导体生产清洗装置，其特征在于：所述清洁机构包括位于所述夹紧腔下端壁内的两个工作腔，两个所述工作腔之间通过加热腔连通，所述加热腔上下端壁间固定有发热块，所述加热腔下端壁内设有两个开口向上的支撑槽，所述支撑槽内设有上端截断所述加热腔与所述工作腔连通的绝热板，所述支撑槽下端壁固定有上端与所述绝热板固定连接的支撑弹簧，左侧所述工作腔下端壁内设有连通外界空间的排出管道，所述排出管道内设有第一电磁开关，左侧所述工作腔左端壁内设有三个分别用来储存纯水、双氧水以及氢氧化钠溶液的储液腔，所述储液腔与左侧所述工作腔之间通过连通管道连通，所述储液腔左右端壁内均设有连通管道，左侧所述连通管道连通外界空间与所述储液腔，右侧所述连通管道连通左侧所述工作腔与所述储液腔，所述连通管道内设有第二电磁开关。

3.根据权利要求 2 所述的一种半导体生产清洗装置，其特征在于：所述驱动机构包括位于所述夹紧腔左右端壁内设有传动腔，所述传动腔下端壁转动连接有传动轴，左侧所述传动腔上端壁固定连接有与左侧所述传动轴上端动力连接的驱动电机，所述传动腔上固定连接有一端位于所述夹紧腔内的传动齿轮，所述传动轴上还固定连接有链轮，左右两个所述链轮之间通过链条连接，左侧所述传动轴上还固定连接有卷绳轮，所述卷绳轮上缠绕有左端贯穿左侧所述传动腔左端壁与所述夹紧腔上端壁且与所述升降板固定连接的锁链。

4.根据权利要求 3所述的一种半导体生产清洗装置，其特征在于：所述移动机构包括开口向前且连通所述夹紧腔的滑动腔，所述滑动腔下端壁内设有开口向上且前端壁连通所述夹紧腔的三个限位腔，左右两侧所述限位腔下端壁内设有开口向前且上端壁连通所述限位腔的升降腔，所述升降腔内设有弹簧块以及支撑所述弹簧块的压缩弹簧，所述压缩弹簧下端内固定有下端贯穿所述升降腔下端壁与所述加热腔上端壁且与所述绝热板固定连接的绳索，所述滑动腔内还滑动连接有滑动块，所述滑动块内设有开口向前且下端壁连通所述限位腔的限制槽，所述电磁杆后端贯穿所述限制槽前端壁且位于所述限制槽内，所述限制槽右端壁内设有右端壁连通所述滑动腔的限制腔，所述限制腔内设有可升降的限制块，所述限制块右端固定有右端贯穿所述限制腔右端壁且与所述滑动腔右端壁固定连接的滑动弹簧，所述夹紧腔左端壁还固定有可与所述电磁杆相斥相吸的电磁块。

5.根据权利要求 4 所述的一种半导体生产清洗装置，其特征在于：所述电磁杆与所述磁铁块之间的磁力远大于所述伸缩弹簧的弹力，所述压缩弹簧的弹力远大于所述支撑弹簧的弹力，所述升降弹簧的弹力远大于所述压缩弹簧的弹力，所述传动齿轮上下端面之间的距离远大于所述旋转齿轮上下端面之间的距离，所述电磁块工作时与所述电磁杆之间的磁力远大于所述滑动弹簧的弹力。