[发明专利]一种边缘研磨设备

权利要求书

1.一种边缘研磨设备，其特征在于，所述边缘研磨设备具有一横向的轴线，所述边缘研磨设备包括：

多个承载件，所述多个承载件位于同一纵向平面内，且环绕所述轴线设置，所述多个承载件用于承载待研磨晶圆，以使所述待研磨晶圆的中轴线沿所述轴线的方向设置，所述多个承载件中的至少一个还用于驱动所述待研磨晶圆绕自身的中轴线旋转；

研磨组件，环绕所述轴线设置，所述研磨组件用于在所述待研磨晶圆旋转时，研磨所述待研磨晶圆的边缘。

2.如权利要求1所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述承载件上形成有凹槽，所述凹槽朝向所述轴线，且所述凹槽用于容纳所述待研磨晶圆。

3.如权利要求2所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述承载件包括两个并列设置的滚轮，两个所述滚轮之间形成所述凹槽。

4.如权利要求3所述的边缘研磨设备，其特征在于，并列设置的两个所述滚轮之间还设置有主动轮，所述主动轮用于驱动所述待研磨晶圆旋转。

5.如权利要求1所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述研磨组件的数量为多组，且每组所述研磨组件包括至少一个用于研磨待研磨晶圆侧边的第一研磨件和至少两个分别用于研磨所述待研磨晶圆的两个斜边的第二研磨件。

6.如权利要求5所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述第一研磨件和所述第二研磨件均为抛光鼓，且所述第一研磨件和所述第二研磨件与所述轴线之间的距离均等于所述待研磨晶圆的半径，以使所述第一研磨件和所述第二研磨件与所述待研磨晶圆线接触。

7.如权利要求5或6所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述研磨组件的组数与所述承载件的数量相等，且各组所述研磨组件与所述承载件间隔设置。

8.如权利要求7所述的边缘研磨设备，其特征在于，相邻两组所述研磨组件与所述轴线之间形成的夹角均相等，相邻两个所述承载件与所述轴线之间形成的夹角均相等。

9.如权利要求1所述的边缘研磨设备，其特征在于，还包括一个或多个转速传感器，所述转速传感器用于检测待研磨晶圆的转速。

10.如权利要求9所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述转速传感器为惰轮，所述惰轮和所述承载件位于同一平面内，且所述惰轮与所述轴线之间的距离等于所述承载件与所述轴线之间的距离。