[发明专利]一种多晶硅生产中聚氯硅烷处理装置

权利要求书

1.一种多晶硅生产中聚氯硅烷废料的处理装置，其特征在于，包括：

裂解罐，所述裂解罐具有聚氯硅烷废料进口和氯化氢进口，所述聚氯硅烷废料进口供聚氯硅烷废料进入，所述氯化氢进口供氯化氢进入；

蒸发罐(1)，所述蒸发罐(1)的进口与所述裂解罐的出口连通；

三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐，所述蒸发罐(1)的出口与所述三氯硅烷收集罐和所述四氯硅烷收集罐连通；

所述裂解罐包括多个，多个所述裂解罐之间为并联设置，或者一部分所述裂解罐并联之后与另一部分所述裂解罐串联设置；

所述裂解罐包括第一裂解罐(4)、第二裂解罐(5)、第三裂解罐(6)，所述第一裂解罐(4)的聚氯硅烷废料进口处安装有第一进料管(7)，所述第一裂解罐(4)的出口处安装有第一出料管(10)，所述第一出料管(10)与所述蒸发罐(1)的进口连通；

所述第二裂解罐(5)的聚氯硅烷废料进口处安装有第二进料管(8)，所述第二裂解罐(5)的出口处安装有第二出料管，所述第二出料管与所述蒸发罐(1)的进口连通；

所述第三裂解罐(6)的聚氯硅烷废料进口处安装有第三进料管(9)，所述第三裂解罐(6)的出口处安装有第三出料管(13)，所述第三出料管(13)与所述蒸发罐(1)的进口连通；

还包括：用于连通所述第一出料管(10)和所述第二进料管(8)的第一连通管(14)，所述第一连通管(14)上设置有第一阀门(16)，所述第一阀门(16)用于导通或截止所述第一出料管(10)和所述第一连通管(14)；

用于连通所述第一出料管(10)和所述第三进料管(9)的第二连通管(15)，所述第二连通管(15)上设置有第二阀门(17)，所述第二阀门(17)用于导通或截止所述第一出料管(10)和所述第二连通管(15)；

所述第一出料管(10)上设置有第三阀门(18)，所述第三阀门(18)用于导通或截止所述第一出料管(10)与所述蒸汽罐；

所述第三出料管(13)还能够与所述第一进料管(7)和所述第二进料管(8)连通，所述第三出料管(13)上设置有第四阀门(19)，所述第四阀门(19)用于导通或截止所述第三出料管(13)和所述蒸汽罐；

所述第三出料管(13)通过第三连通管(20)与所述第二连通管(15)连通，所述第三连通管(20)上设置有第五阀门(21)，所述第五阀门(21)用于导通或截止所述第三连通管(20)和所述第三出料管(13)；

所述第二连通管(15)通过第四连通管(22)与所述第一进料管(7)连通，所述第四连通管(22)上设置有第六阀门(23)，所述第六阀门(23)用于导通或截止所述第四连通管(22)和所述第二连通管(15)；

所述第二连通管(15)上还设置有第七阀门(24)，所述第七阀门(24)用于导通或截止所述第二连通管(15)和所述第三进料管(9)；

所述第一连通管(14)的进口端与所述第二连通管(15)相通，所述第二连通管(15)上靠近所述第一出料管(10)的部位设置有第八阀门(25)，所述第八阀门(25)用于导通或截止所述第二连通管(15)与所述第一出料管(10)。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中聚氯硅烷废料的处理装置，其特征在于，还包括精馏塔和冷却器(2)，所述冷却器(2)用于对进入所述裂解罐之前的所述聚氯硅烷废料进行冷却，所述精馏塔用于对进入所述冷却器(2)之前的所述聚氯硅烷废料进行提纯。

3.根据权利要求2所述的多晶硅生产中聚氯硅烷废料的处理装置，其特征在于，所述冷却器(2)内流通有冷却液，所述冷却器(2)的冷却液管道上设置有流量调节阀(3)，所述冷却器(2)的聚氯硅烷废料流出管道上设置有温度检测器，所述流量调节阀(3)受控于所述温度检测器。