[发明专利]一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源

权利要求书

1.一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：包括支撑架、保护箱(4)以及保温箱(11)，所述保护箱(4)和保温箱(11)均固定安装在支撑架的顶部，所述保护箱(4)上安装有升降盖板，所述支撑架的顶部固定嵌合安装有MOCVD加热器(15)，所述保护箱(4)底部设置有反应箱体(16)，且反应箱体(16)与支撑架固接，所述MOCVD加热器(15)贯穿反应箱体(16)底部，所述升降盖板位于反应箱体(16)顶部，所述升降盖板的底部安装有空腔矩形板(18)，所述空腔矩形板(18)的底部设置有若干个出气孔(12)，所述空腔矩形板(18)底部通过连接杆(21)连接有基片载板(20)；

所述保温箱(11)的内部设置有金属导热箱(23)，且金属导热箱(23)与保温箱(11)之间形成保温腔，所述保温腔的内部均匀设置有若干个导热连接条(24)，且导热连接条(24)的两端分别与金属导热箱(23)以及保温箱(11)固接，所述保温箱(11)的顶部开有排气孔(19)；

所述金属导热箱(23)的一侧顶部固定连通有若干个插管(28)，所述插管(28)贯穿保温箱(11)，且插管(28)末端通过连接管(27)与空腔矩形板(18)顶部连通；

所述反应箱体(16)的一侧通过直管(22)与保温腔的一侧连通，所述金属导热箱(23)底部固定连通有进气管(13)，且进气管(13)贯穿保温箱(11)底部以及支撑架顶部，所述进气管(13)的底端安装有阀门(14)，所述金属导热箱(23)内部从下到上设置有气流路径延长结构；所述气流路径延长结构由若干个第一隔板(25)和若干个第二隔板(26)构成，若干个所述第一隔板(25)和若干个所述第二隔板(26)之间交错分布，所述第一隔板(25)与金属导热箱(23)左侧内壁固接，所述第二隔板(26)与金属导热箱(23)右侧内壁固接。

2.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述支撑架包括平板(1)，所述平板(1)的底部四角处均垂直固接有支撑脚(2)，且支撑脚(2)之间通过加固条(3)固接。

3.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述保护箱(4)的正面开口处设置有箱门(6)，所述箱门(6)的一侧通过铰链(5)与保护箱(4)铰接，所述箱门(6)的另一侧通过搭扣锁(8)与保护箱(4)连接，所述箱门(6)的表面固定嵌合安装有透明玻璃窗(7)。

4.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述MOCVD加热器(15)的底部套接有固定罩(10)，且固定罩(10)与平板(1)底部固接。

5.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述升降盖板包括电动推杆(9)以及箱盖(17)，所述电动推杆(9)的壳体与保护箱(4)顶部垂直固接，且电动推杆(9)的输出底端与箱盖(17)顶部固接。

6.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述保温箱(11)由金属保护层(1101)以及石棉保温层(1102)构成，所述金属保护层(1101)的数目为两个，且两个金属保护层(1101)分别固定安装在石棉保温层(1102)的内侧和外侧。

7.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述连接管(27)由鹅颈管(2701)和软管(2702)套接而成，所述软管(2702)设置在鹅颈管(2701)的内部。

8.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述金属导热箱(23)和保温箱(11)均与插管(28)的外管壁无缝焊接。

9.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述排气孔(19)的数目为四个，且四个排气孔(19)呈矩形阵列分布。