[发明专利]磁探针安装调节装置

权利要求书

1.一种磁探针安装调节装置，其特征在于，包括用于安装磁探针的安装板，所述安装板沿着其长度方向间隔设有至少两组支撑调节装置，每组所述支撑调节装置均包括对称设置在所述安装板两侧的支撑调节组件，所述支撑调节组件包括用于与真空室的内壁连接的支撑杆，所述支撑杆的外周沿其长度方向滑动设有调节块以及用于限制所述调节块位置的第一调节件，所述调节块沿着所述安装板的长度方向设有长孔，所述支撑杆穿设在所述长孔内，并可沿所述长孔的长度方向滑动，所述安装板与所述调节块沿着所述安装板的宽度方向滑动连接；

所述安装板的侧面设有用于安装所述调节块的凹槽，所述凹槽的内壁上沿着所述安装板的宽度方向设有滑块，所述调节块上设有与所述滑块相匹配的滑槽；

所述安装板上设有用于带动所述安装板相对于所述调节块移动的第二调节件，所述第二调节件包括设置在所述凹槽的开口处的固定块，所述调节块朝向所述固定块的一侧设有调节杆，所述调节块上设有用于安装所述调节杆的连接孔，所述调节杆沿着所述安装板的宽度方向设置，所述调节杆与所述固定块滑动配合，所述调节杆上设有螺纹段，所述螺纹段上螺纹连接有用于推动所述固定块移动的调整环。

2.根据权利要求1所述的磁探针安装调节装置，其特征在于，所述固定块沿着所述安装板的长度方向设有安装槽，所述调整环设置在所述安装槽内且所述调整环部分伸出所述安装槽。

3.根据权利要求2所述的磁探针安装调节装置，其特征在于，所述调整环的外周沿其周向方向间隔设有多个插孔。

4.根据权利要求1所述的磁探针安装调节装置，其特征在于，所述滑槽与所述滑块之间设有间隙。

5.根据权利要求1所述的磁探针安装调节装置，其特征在于，所述第一调节件为用于支撑所述调节块的调高块，所述支撑杆为螺杆，所述调高块与所述螺杆螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的磁探针安装调节装置，其特征在于，所述第一调节件还包括设置在所述螺杆上的压紧块，所述压紧块与所述螺杆螺纹连接，所述调节块设置在所述压紧块与所述调高块之间。

7.根据权利要求6所述的磁探针安装调节装置，其特征在于，所述调高块上设有穿设于所述长孔的导向杆，所述导向杆的直径与所述长孔的宽度相匹配。

8.根据权利要求7所述的磁探针安装调节装置，其特征在于，所述导向杆的端部伸出所述调节块，所述压紧块上设有与所述导向杆的伸出端相匹配的安装孔。