[发明专利]一种用于电子束物理气相沉积制备热障涂层的夹持装置

权利要求书

1.一种用于电子束物理气相沉积制备热障涂层的夹持装置，包括公转组件、自转组件、支撑组件和摆动组件，其特征在于，

所述公转组件包括装置外架(17)和与所述装置外架(17)相键连的第一主传动轴(15)，所述第一主传动轴(15)转动带动所述装置外架(17)转动，进而带动整个装置转动，实现公转；

所述自转组件包括内嵌在所述第一主传动轴(15)内的第二主传动轴(16)，与所述第二主传动轴(16)键连的主齿轮(1)，分别与所述主齿轮(1)啮合的六个自转齿轮(2)，尾端分别与所述六个自转齿轮(2)中心键连的六根从动轴(6)；

所述支撑组件包括九根连接杆(11)，六个法兰轴承(5)和圆形挡板(10)；

所述摆动组件包括齿轮盘(12)，六个摆动齿轮(3)，六个内齿轮(4)，六个摆动圆盘(7)，六根摆动轴，六个万向节(8)，六根摆动杆(9)和支架上圆盘(13)；

所述六个自转齿轮(2)分别与所述齿轮盘(12)上的所述六个内齿轮(4)上下一一对应，所述六个法兰轴承(5)通过螺栓螺母安装在所述圆形挡板(10)上，所述六根从动轴(6)底端分别穿过所述六个法兰轴承(5)，所述六根从动轴(6)的顶端分别穿过所述齿轮盘(12)的所述六个内齿轮(4)中心后通过螺钉与所述六个摆动圆盘(7)的中心固定，通过所述第二主传动轴(16)的转动带动所述主齿轮(1)转动，所述主齿轮(1)转动带动所述六个自转齿轮(2)转动，在所述六根从动轴(6)带动下实现所述六个摆动圆盘(7)转动，进而实现自转；

所述圆形挡板(10)、所述齿轮盘(12)、所述支架上圆盘(13)的直径相同，所述九根连接杆(11)均通过螺母固定，其中，三根连接杆(11)均匀分布于所述圆形挡板(10)底面用于支撑所述圆形挡板(10)，三根连接杆(11)均匀分布在所述圆形挡板(10)和所述齿轮盘(12)之间，三根连接杆(11)均匀分布在所述齿轮盘(12)和所述支架上圆盘(13)之间；

所述六个万向节(8)分别安装在所述六个摆动圆盘(7)上，所述六个万向节(8)底部与所述六根摆动轴的顶端键连，所述六根摆动轴的尾端与所述六个摆动圆盘(7)底部的所述六个摆动齿轮(3)键连，所述六个摆动齿轮(3)分别与所述六个内齿轮(4)啮合；所述支架上圆盘(13)外沿均匀分布六个通孔，所述六根摆动杆(9)的尾端连接所述六个万向节(8)，所述六根摆动杆(9)的顶端插入所述支架上圆盘(13)的六个通孔，所述六根摆动杆(9)顶端分别安装所述六个工件架(14)；

所述六根从动轴(6)带动所述六个摆动圆盘(7)开始转动后，所述六个摆动齿轮(3)转动，带动所述六个万向节(8)转动，进而带动所述六根摆动杆(9)倾斜转动，进一步带动所述六个工件架(14)自由摆动。