[发明专利]用于ARC镀膜生产线的基片架

说明书

本发明提供了用于ARC镀膜生产线的基片架，用于装载待镀膜的基片，所述基片架在镀膜生产线上运行，包括基片架本体、框架组件和盖板组件，框架组件连接基片架本体的各侧边，基片架本体上设有基片区，基片区包括彼此独立的第一基片区、第二基片区和第三基片区，盖板组件包括第一盖板、第二盖板和第三盖板，第一盖板、第二盖板和第三盖板分别可拆卸的盖合在第一基片区、第二基片区和第三基片区上。本发明所述基片架可装载多种和多个基片，基片架分为多个基片区域，每个基片区域对应配有相应盖板，所述盖板可拆卸的覆盖在对应的基片区域，以分区利用各个基片区域，且防止各基片区域受到污染，框架组件保护基片架本体且稳定承重。

技术领域

本发明涉及镀膜生产技术领域，具体为用于ARC镀膜生产线的基片架。

背景技术

真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，即需要对基片进行镀膜操作，对基片的镀膜操作需要在镀膜生产线上进行，基片需要装载在基片架上运行，以完成镀膜操作。ARC镀膜需要进行多层镀膜，生产线较长，基片装载在基片架上时发生晃动概率较大。另外，同一个基片架上需要对多种和多个基片进行装载，以提高镀膜效率，当基片架上没有装载满基片时，不装载基片的基片架容易受到污染和损伤。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供用于ARC镀膜生产线的基片架，所述基片架可装载多种和多个基片，基片架分为多个基片区域，每个基片区域对应配有相应盖板，所述盖板可拆卸的覆盖在对应的基片区域，以分区利用各个基片区域，且防止各基片区域受到污染，框架组件保护基片架本体且稳定承重。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

用于ARC镀膜生产线的基片架，用于装载待镀膜的基片，所述基片架在镀膜生产线上运行，包括基片架本体、框架组件和盖板组件，框架组件连接基片架本体的各侧边，基片架本体上设有基片区，基片区包括彼此独立的第一基片区、第二基片区和第三基片区，盖板组件包括第一盖板、第二盖板和第三盖板，第一盖板、第二盖板和第三盖板分别可拆卸的盖合在第一基片区、第二基片区和第三基片区上。

作为上述技术方案的进一步改进为：

基片架本体包括第一本体、第二本体和第三本体，第一本体、第二本体和第三本体均为矩形板状，第二本体、第一本体和第三本体从下到下依次连接。

第二本体、第一本体和第三本体依次可拆卸的连接，第二本体长度方向的上边有一个凸台，所述凸台上沿第二本体的长度方向均匀间隔开设有多个第二销孔，第一本体长度方向的下边沿第一本体的长度方向均匀间隔开设有多个第一销孔，第一本体的下边搭设在凸台上时，多个第二销孔分别和多个第一销孔连通，通过螺栓将上述连通的多组第二销孔和第一销孔连接起来。

基片区包括第一基片区、多个第二基片区和多个第三基片区，第一基片区设于第一本体上，第二基片区设于第二本体上，第三基片区设于第三本体上，第一基片区包括四个一级基片区，四个一级基片区在第一本体上布置成“田”字形，每个一级基片区包括多个二级基片区，多个二级基片区在一级基片区上均匀排列成多行和多列的状态，每个二级基片区上用于放置一个第一种基片，第二本体上均匀布置多个第二基片区，每个第二基片区上放置一个第二种基片，第三本体上均匀布置多个第三基片区，每个第三基片区上放置一个第三种基片。

第二基片区、第三基片区和二级基片区的面积依次减小。

第一盖板通过卡扣可拆卸的覆盖在一级基片区，第二盖板和第三盖板通过螺钉分别可拆卸的覆盖在第二基片区和第三基片区上。

框架组件包括上边框、下边框和两个侧边框，上边框、下边框和两个侧边框均为长条形，上边框连接第三本体的上边，下边框连接第二本体的下边，两个侧边框分别连接第一本体的左右两边。