[发明专利]一种M50钢脉冲电子束辐照Cr-Mo-Nb-W合金化方法

权利要求书

1.一种M50钢脉冲电子束辐照Cr-Mo-Nb-W合金化方法，其特征在于所述制备方法是按下述步骤进行的：

步骤一、将M50钢工件表面研磨抛光，然后依次用丙酮和无水乙醇超声清洗；

步骤二、然后放置在真空室内的工作台上，将工件的待处理面面向电子枪；

步骤三、然后抽真空至4×10^-4Pa～7×10^-4Pa；

步骤四、然后向真空室内持续通入氩气，再在气压0.04Pa～0.08Pa、加速电压控制在30kv条件下辐照50～100次；

步骤五、然后将工件的待处理面依次用W靶材、Nb靶材、Mo靶材、Cr靶材进行磁控溅射；

步骤六、再将工件的待处理面转向面对电子束；

步骤七、然后向真空室内通入氩气，再在气压0.04Pa～0.06Pa、加速电压控制在22kv条件下辐照50～100次，冷却15～30min后取出在空气中冷却，即完成。

2.根据权利要求1所述一种M50钢脉冲电子束辐照Cr-Mo-Nb-W合金化方法，其特征在于步骤五中W靶材磁控溅射是按下述步骤操作的：抽真空至6×10^-4Pa，待抽完真空之后，向真空室内持续通入氩气，在工作功率为50w、工作电流为131mA、工作电压为380v、充气量为505sccm条件下进行磁控溅射，沉积1.5min，停止通氩气，25min后停止磁控溅射，关闭电源，冷却10min～20min。

3.根据权利要求1所述一种M50钢脉冲电子束辐照Cr-Mo-Nb-W合金化方法，其特征在于步骤五中Nb靶材磁控溅射是按下述步骤操作的：抽真空至6×10^-4Pa，待抽完真空之后，向真空室内持续通入氩气，在工作功率为50w、工作电流为161mA、工作电压为310v、充气量为580sccm条件下进行磁控溅射，沉积1.5min，停止通氩气，25min后停止磁控溅射，关闭电源，冷却10min～20min。

4.根据权利要求1所述一种M50钢脉冲电子束辐照Cr-Mo-Nb-W合金化方法，其特征在于步骤五中Mo靶材磁控溅射是按下述步骤操作的：抽真空至6×10^-4Pa，待抽完真空之后，向真空室内持续通入氩气，在工作功率为50w、工作电流为143mA、工作电压为350v、充气量为450sccm条件下进行磁控溅射，沉积1.5min，停止通氩气，25min后停止磁控溅射，关闭电源，冷却10min～20min。

5.根据权利要求1所述一种M50钢脉冲电子束辐照Cr-Mo-Nb-W合金化方法，其特征在于步骤五中Cr靶材磁控溅射是按下述步骤操作的：抽真空至6×10^-4Pa，待抽完真空之后，向真空室内持续通入氩气，在工作功率为50w、工作电流为125mA、工作电压为400v、充气量为600sccm条件下进行磁控溅射，沉积20.5min，停止通氩气，25min后停止磁控溅射，关闭电源，冷却10min～20min。