[发明专利]一种MOCVD加热器源及其操作方法

说明书

本发明公开了一种MOCVD加热器源及其操作方法，包括安装板、固定条、固定管、电磁铁、导向环、活动铁杆、第一弹簧、第二弹簧、固定套、嵌合柱、承载板、MOCVD加热器、保温罩金属外壳、石棉填充层、高导热陶瓷片、第一导热凸起、金属导热罩、第二导热凸起、顶盖、排气扇、铰链、螺纹环、活性炭过滤网、直杆、固定球块和搭扣锁。本发明通过两个平行设置的安装结构可便于MOCVD加热器源进行安装以及拆卸，从而便于进行维护和维修以及更换，避免损坏后，更换时间过长，而延长加热的时长；通过导热结构的设置可进行热量的传导，传导的温度较均匀，可对金属导热罩的内部进行均匀加热，加热效果较好，从而避免出现受热不均的现象。

技术领域

本发明涉及一种MOCVD加热器源及其操作方法，属于MOCVD加热器应用技术领域。

背景技术

电加热器是指利用电能达到加热效果的电器；它体积小，加热功率高，使用十分广泛，采用智能控制模式，控温精度高，可与计算机联网；应用范围广，寿命长，可靠性高；加热器原理的核心的是能量转换，最广泛的就是电能转换成热能。

现有的MOCVD加热器源可能缺少导热的结构，对热量的利用较差，对物品的加热可能不均匀，从而使物品出现受热不均的现象，同时，一般加热器通过螺栓实现安装，拆、装较为不便。因此，针对上述问题提出一种MOCVD 加热器源及其操作方法。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种MOCVD加热器源及其操作方法。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的，一种带有导热热利用结构的 MOCVD加热器源，包括安装板、承载板以及固定安装在承载板顶部的MOCVD加热器，所述安装板和承载板之间设置有两个平行设置的安装结构；

所述MOCVD加热器的顶部设置有导热结构，所述导热结构和MOCVD加热器套接有保温罩；

所述保温罩顶部设置有可翻转的顶盖，所述顶盖的一侧通过铰链与保温罩顶部一侧连接，所述顶盖与保温罩之间安装有若干个搭扣锁，所述顶盖设置有排气结构，所述排气结构顶部设置有过滤结构，所述过滤结构上安装有把手。

优选的，所述安装结构包括双端伸缩杆以及两个固定套，两个所述固定套设置在双端伸缩杆的两端，且双端伸缩杆和固定套均与安装板固接，所述固定套内部套接有嵌合柱，且嵌合柱与承载板底部固接，所述嵌合柱底部设置有第二弹簧，所述固定套和嵌合柱的水平方向开有通孔，所述双端伸缩杆的两端与通孔配合连接。

优选的，所述双端伸缩杆包括固定管以及固定安装在固定管两端的导向环，所述固定管通过固定条与安装板固接，所述固定管内壁套接有活动铁杆，所述活动铁杆与导向环的一侧通过第一弹簧弹性连接，所述固定管中部固定安装有电磁铁。

优选的，所述活动铁杆套接有第一弹簧，所述第一弹簧位于固定管内部，且第一弹簧两端分别与活动铁杆表面以及导向环一侧固接。

优选的，所述导热结构包括高导热陶瓷片和金属导热罩，所述金属导热罩固定安装在高导热陶瓷片顶部，且高导热陶瓷片底部与MOCVD加热器顶部固接，所述高导热陶瓷片的顶部设置有若干个第一导热凸起，所述金属导热罩的底部设置有若干个第二导热凸起。

优选的，所述保温罩由两个金属外壳和石棉填充层构成，所述石棉填充层设置在两个金属外壳之间。

优选的，所述排气结构包括排气扇以及固定安装在排气扇顶部的螺纹环，所述排气扇与顶盖中部固定嵌合连接，所述螺纹环的内壁开有内螺纹。

优选的，所述过滤结构包括活性炭过滤网，所述活性炭过滤网为圆盘型结构，且活性炭过滤网的边框外圈开有外螺纹。

优选的，所述把手的数目为两个，且两个把手固定安装在活性炭过滤网的顶部两侧，所述把手由直杆和固定球块固接而成，且直杆底端与活性炭过滤网固接。