[发明专利]一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法

权利要求书

1.一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法，其特征在于所述方法是通过下述步骤完成的：

步骤一、对M50钢工件表面进行预处理；

步骤二、然后预辐照；

步骤三、然后将工件的待处理面依次用Cr靶材、W靶材、Nb靶材、Mo靶材进行磁控溅射；

步骤四、然后电子束辐射，冷却15～30min后取出在空气中冷却，即完成了提高M50钢高温摩擦磨损抗力。

2.根据权利要求1所述一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法，其特征在于步骤一中预处理是由下述步骤实现的：将M50钢工件表面用320#，600#，800#，1000#，1500#和2000#的砂纸进行逐级打磨，并用金刚石抛光剂将试样抛光成表面粗糙度R_a≤0.1μm，之后依次用丙酮和无水乙醇超声清洗，超声清洗时间均为10min，吹干。

3.根据权利要求1所述一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法，其特征在于步骤二预辐照是按下述步骤进行的：

步骤2.1：将预处理后M50钢工件的放置在真空室内的工作台上，待处理面面向电子枪；

步骤2.2：然后抽真空至4×10^-4Pa～7×10^-4Pa，再向真空室内持续通入氩气，再在气压0.04Pa～0.08Pa、加速电压控制在30kv条件下辐照50～100次。

4.根据权利要求1所述一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法，其特征在于步骤三中Cr靶材磁控溅射是按下述步骤操作的：抽真空至6×10^-4Pa，待抽完真空之后，向真空室内持续通入氩气，在工作功率为50w、工作电流为125mA、工作电压为400v、充气量为600sccm条件下进行磁控溅射，沉积1.5min，停止通氩气，25min后停止磁控溅射，关闭电源，冷却10min～20min。

5.根据权利要求1所述一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法，其特征在于步骤三中W靶材磁控溅射是按下述步骤操作的：抽真空至6×10^-4Pa，待抽完真空之后，向真空室内持续通入氩气，在工作功率为50w、工作电流为131mA、工作电压为380v、充气量为505sccm条件下进行磁控溅射，沉积1.5min，停止通氩气，25min后停止磁控溅射，关闭电源，冷却10min～20min。

6.根据权利要求1所述一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法，其特征在于步骤三中Nb靶材磁控溅射是按下述步骤操作的：抽真空至6×10^-4Pa，待抽完真空之后，向真空室内持续通入氩气，在工作功率为50w、工作电流为161mA、工作电压为310v、充气量为580sccm条件下进行磁控溅射，沉积1.5min，停止通氩气，25min后停止磁控溅射，关闭电源，冷却10min～20min。

7.根据权利要求1所述一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法，其特征在于步骤三中Mo靶材磁控溅射是按下述步骤操作的：抽真空至6×10^-4Pa，待抽完真空之后，向真空室内持续通入氩气，在工作功率为50w、工作电流为143mA、工作电压为350v、充气量为450sccm条件下进行磁控溅射，沉积20.5min，停止通氩气，25min后停止磁控溅射，关闭电源，冷却10min～20min。

8.根据权利要求1所述一种提高M50钢高温摩擦磨损抗力的方法，其特征在于步骤四中电子束辐射是将工件的待处理面转向面对电子束，向真空室内通入氩气，再在气压0.04Pa～0.06Pa、加速电压控制在27kv条件下辐照50～100次。