[发明专利]一种可重复利用的双头连接器

说明书

本发明提供一种可重复利用的双头连接器，涉及半导体真空蒸镀技术领域，包括第一连接头、连接管和第二连接头，所述连接管的一端与所述第一连接头螺纹连接，另一端与所述第二连接头螺纹连接，所述第一连接头包括第一封头、第一压垫和第一垫圈，所述第一压垫和第一垫圈压紧设置在所述第一封头与所述连接管之间，所述第二连接头包括第二封头、第二压垫和第二垫圈，所述第二压垫和第二垫圈压紧设置在所述第二封头与所述连接管之间，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为弹性垫圈。在实现真空蒸镀设备真空检测过程中，可实现真空规管、连接器和预留接入口的多次重复使用，延长上述零部件的使用寿命，降低生产成本，利于绿色工业的发展。

技术领域

本发明涉及半导体真空蒸镀技术领域，特别涉及一种可重复利用的双头连接器。

背景技术

真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

在真空蒸镀工艺中，真空蒸镀设备设置有预留接入口，用于测量真空蒸镀腔中的真空度。现有真空度检测主要使用真空规管进行真空度检测，检测时是需要使用连接器来连接真空规管和预留接入口。现有的连接器均为机械一次性连接器，不利于绿色工业发展，造成连接器、真空规管和预留接入口等多部件的大规模浪费。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种可重复利用的双头连接器，在实现真空蒸镀设备真空检测过程中，可实现真空规管、连接器和预留接入口的多次重复使用，延长上述零部件的使用寿命，降低生产成本，利于绿色工业的发展。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

本发明提供一种可重复利用的双头连接器，包括第一连接头、连接管和第二连接头，所述连接管的一端与所述第一连接头螺纹连接，另一端与所述第二连接头螺纹连接，所述第一连接头包括第一封头、第一压垫和第一垫圈，所述第一压垫和第一垫圈压紧设置在所述第一封头与所述连接管之间，所述第二连接头包括第二封头、第二压垫和第二垫圈，所述第二压垫和第二垫圈压紧设置在所述第二封头与所述连接管之间，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为弹性垫圈。

进一步地，所述连接管左端的外表面设有与第一封头配合的第一螺纹，所述连接管右端的外表面设有与第二封头配合的第二螺纹，所述连接管外周的中间区域还设置有螺母，所述连接管贯穿所述螺母。

进一步地，所述连接管左端的内表面设有用于与第一垫圈压合的第一斜面，所述连接管的右端的内表面设有用于与第二垫圈压合的第二斜面。

进一步地，第一封头外径较大的一端设有第一通孔，所述第一封头内表面设有与第一螺纹配合的第三螺纹；第二封头外径较大的一端设有第二通孔，所述第二封头内表面设有与第二螺纹配合的第四螺纹。

进一步地，所述第一通孔位于所述第一封头的中心区域；所述第二通孔位于所述第二封头的中心区域。

进一步地，所述第一压垫外径较小的一端的端面为平面，所述第一压垫外径较小的一端与第一垫圈抵接；所述第二压垫外径较小的一端的端面为平面，所述第二压垫外径较小的一端与第二垫圈抵接。

进一步地，所述第一压垫外径较大的一端的孔外周设有第三斜面，所述第二压垫外径较大的一端的孔外周设有第四斜面。

进一步地，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为O形垫圈，所述O形垫圈由橡胶材料制成。

进一步地，所述O形垫圈的截面为圆形。

进一步地，所述第一连接头与所述第二连接头沿所述螺母的轴向方向对称设置。