[发明专利]一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置在审
申请号: | 201911111805.2 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN110676147A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 郭新勇;张康;杨艳娜;李盛 | 申请(专利权)人: | 河南河大科技发展有限公司 |
主分类号: | H01J37/09 | 分类号: | H01J37/09;H01J37/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 475000 河南省开*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光阑片 光阑 透射电子显微镜 光阑孔 可动 延展性 电子束轰击 青铜系合金 成像部件 降低噪声 暗场像 聚光镜 可移动 明场像 耐腐蚀 投影镜 无磁性 衬度 倾转 球差 物镜 成像 加工 移动 | ||
1.一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置,该装置包括:光阑片材质(1),光阑片形状(2),光阑孔(3)。
2.根据权利要求书1所述的光阑片材质(1),其特征是材质为Ni-Si青铜系合金,型号为C64780,易于加工、无磁性、耐电子束轰击、延展性和韧性适中、耐腐蚀、成本低廉。
3.根据权利要求书1所述的光阑片形状(2),受限于电子显微镜磁透镜和光路的空间,同时考虑光阑片在镜筒内移动的精度,光阑片形状长方形,尺寸为20 mm×10 mm,厚度为0.1 mm。
4.根据权利要求书1所述的光阑孔(3),在光阑片上纵向同轴排列四个光阑孔(3-1)、(3-2)、(3-3)、(3-4),其尺寸从小到大依次为40μm、80μm、120μm、200μm,满足不同样品的电子光学成像要求。
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