[发明专利]一种旋转靶材冷绑定工艺

说明书

本发明实施例公开了一种旋转靶材冷绑定工艺，属于靶材技术领域。所述旋转靶材冷绑定工艺，包括以下步骤：将外管靶材套在背管上；将粘接剂压注到外管靶材和内管的间隙中；待粘接剂凝固后即完成绑定。本发明的冷绑定工艺能够有效地将间隙中的空气挤压出来，使得外管靶材与背管的粘接面积可以达到100％，从而两管之间不会产生空穴，溅射过程中有效避免了裂靶及掉靶现象。绑定时无需加热，因而背管不会产生膨胀现象，所以背管可以采用304不锈钢管，具有成本低的优点。本发明的绑定工艺可以绑定任何材料的靶材、任何规格以及任何单节长度(200mm‑2000mm)的旋转靶材。具有操作简单，成本低，节能环保，成品合格率高的优点。

技术领域

本发明实施例涉及靶材技术领域，具体涉及一种旋转靶材冷绑定工艺。

背景技术

靶材是被高速荷能粒子轰击的，可在镀膜基体表面沉积或反应成膜的固体材料。按溅射面的形状，靶材可分为平面靶材、旋转靶材和异性靶材。旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕固定的条状磁铁组件旋转，可360度均匀刻蚀靶面，具有利用率高，镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。

旋转靶材的制备方法有喷涂法和绑定法。喷涂法是采用等离子喷涂设备将粉体如硅粉喷制在背管上，喷涂为颗粒堆积的过程，因而较难生产出高密度靶材，并且氧含量高，使得靶材本身电阻率分布不均。

绑定法是将直径较大的外管靶材套在直径相对较小的背管上，用金属铟或导电胶将外管靶材和背管粘接在一起。

用铟绑定为热绑定法，铟的溶点是156.76度，绑定时加热温度必须高于铟的溶点温度，当背管为304不锈钢材质时，加热后背管膨胀导致外管靶材崩裂，为了防止背管热膨胀将外管靶材撑裂，目前背管均采用钛材料，钛加热后膨胀率小，因而不会撑裂外管靶材，但制作成本很高。

导电胶是一种固化或干燥后具有一定导电性的胶粘剂，它可以将多种导电材料连接在一起，使被连接材料间形成电的通路。但现有技术中无论采用导电胶或铟将外管靶材和背管进行粘接，粘接面积很难达到100％，这样外管靶材和背管之间存在空穴，在溅射过程中容易出现裂靶和掉靶现象。

为了提高旋转靶材的质量，降低生产成本，特提出本发明。

发明内容

为此，本发明实施例提供一种旋转靶材冷绑定工艺，以解决现有方法生产制得的旋转靶材质量不佳、生产成本高的缺陷。

为了实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：

一种旋转靶材冷绑定工艺，包括以下步骤：

1)将外管靶材套在背管上；

2)将粘接剂压注到外管靶材和内管的间隙中；

3)待粘接剂凝固后即完成绑定。

作为优选，所述粘接剂包括粘合剂与金属材料。

作为优选，所述粘合剂包括银导电胶或铜导电胶。

作为优选，所述金属材料包括铜丝或铝丝。

作为优选，所述外管靶材的材质为硅、陶瓷、石墨、硫化钼、铁氟龙、钼、铜、铝钕、铜铝、铜锌、硅铝或硅铬。

作为优选，所述背管为304不锈钢管。

作为优选，所述外管靶材的内表面和背管的外表面的单边间隙为1～1.5mm。

本发明实施例具有如下优点：