[发明专利]任意退偏补偿的高损伤阈值液晶光学面板及其曝光装置在审

专利信息
申请号: 201911117016.X 申请日: 2019-11-15
公开(公告)号: CN111308753A 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 夏刚;郭江涛;程贺;黄大杰;范薇 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02F1/1333 分类号: G02F1/1333;G02F1/1335;G02F1/1337;G03F7/20
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 任意 补偿 损伤 阈值 液晶 光学 面板 及其 曝光 装置
【权利要求书】:

1.一种任意退偏补偿的高损伤阈值液晶光学面板,其特征在于,所述的液晶光学面板(2)由复合层,及涂覆在该复合层外围的间隔子边框胶(25)组成,所述的复合层包括由上至下依次连接的第一介质膜层(20)、第一玻璃基板(21)、第二介质膜层(22)、光控取向膜层(23)、液晶层(24)、摩擦取向膜层(26)、第三介质膜层(27)、第二玻璃基板(28)和第四介质膜层(29)构成。

2.一种用于制备权利要求1所述的高损伤阈值液晶光学面板的曝光装置(1),其特征在于,所述的曝光装置(1)包括LED蓝光光源(10)、光束匀质器(11)、准直器(12)、偏振分束棱镜(13)、分束棱镜(14)、反射式电寻址液晶光阀(15)、计算机(16)和消色差成像系统(17);

所述的LED蓝光光源(10)输出的光束依次经过光束匀质器(11)、准直器(12)、和偏振分束棱镜(13)射入所述的分束棱镜(14),经该分束棱镜(14)透射后进入反射式电寻址液晶光阀(15),后经该反射式电寻址液晶光阀(15)调制后原路返回至分束棱镜(14),再经该分束棱镜(14)反射后依次进入消色差成像系统(17)和液晶光学面板(2);反射式电寻址液晶光阀(15)由所述的计算机(16)控制。

3.根据权利要求2所述的曝光装置(1),其特征在于,所述的偏振分束棱镜(13)的透射光偏振方向与所述的反射式电寻址液晶光阀(15)的起偏方向平行。

4.根据权利要求2所述的曝光装置(1),其特征在于,所述的分束棱镜(14)的分光比为50:50。

5.根据权利要求2所述的曝光装置(1),其特征在于,所述的消色差成像系统(17)将反射式电寻址液晶光阀(15)产生的任意偏振分布灰度图形直接成像在液晶光学面板(2)的光控取向膜层(23)上,所述的第一介质膜层(20)、第二介质膜层(22)、第三介质膜层(27)和第四介质膜层(29)对光控取向膜层(23)的响应波段和待补偿激光波段均增透,所述的光控取向膜层(23)的取向方向与响应波段的偏振方向垂直或平行且与待补偿激光无关。

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