[发明专利]一种真空紫外光探测器的光谱响应标定系统及测试方法

权利要求书

1.一种真空紫外光探测器的光谱响应标定系统，其特征在于，包含紫外光源、深紫外单色仪、探针台和静电计；所述紫外光源、单色仪和探针台置于真空或氮气环境中，紫外光源通过单色仪向探针台上的待测样品器件提供紫外光源辐射；探针台的两侧设有探针组件，所述探针组件包括探针固定座和设置在固定座上的探针，探针能够与探针台上的待测样品器件相连接，同时探针的正负极分别与静电计的相连；所述探针台为微区探针台，包括探针台底座、设置在探针台底座上方的载样台以及设置在探针台底座上的位移调节机构；所述载样台与位移调节机构连接，使载样台可以沿X、Y、Z轴方向做微位移运动。

2.根据权利要求1所述的真空紫外光探测器的光谱响应标定系统，其特征在于，还包含测试系统，静电计与单色仪的输出端分别与测试系统的输入端相连。

3.根据权利要求1所述的真空紫外光探测器的光谱响应标定系统，其特征在于，所述紫外光源为氘灯光源。

4.根据权利要求1所述的真空紫外光探测器的光谱响应标定系统，其特征在于，所述深紫外单色仪配有1200g·mm^-1光栅，闪耀波长在250nm处。

5.根据权利要求3所述的所述的真空紫外光探测器的光谱响应标定系统，其特征在于，所述氘灯光源功率为200W。

6.根据权利要求1所述的光谱响应标定系统，其特征在于，所述真空环境的真空度为0.00000001～0.1帕。

7.根据权利要求1所述的光谱响应标定系统，其特征在于，还包括测试系统，分别连接深紫外单色仪和静电计。

8.一种利用权利要求1～7任一所述光谱响应标定系统进行真空紫外光探测器的光谱响应标定的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1.待测样品器件测试：将待测样品器件置于探针台上并将探针分别接触于样品器件的正负极，紫外光源通过单色仪向探针台上的待测样品器件提供紫外光源辐射，静电计用于对器件施加偏压并测量响应电流，在测试系统上设置测试参数，包括光进出口狭缝宽度、起始波长与终止波长、波长步进、采样周期和平均采样次数以及输入电压，开始测试并保存数据；

S2.单色光功率校准：将样品器件更换为标准紫外探测器并连接静电计，紫外光源通过单色仪向探针台上的标准紫外探测器提供紫外光源辐射，在测试系统上设置测试参数，输入电压设为0V，其余参数与测试样品器件时相同，开始测试并保存数据；将标准探测器的光谱响应电流除以标准光谱响应度即得到不同波长下的光功率，用光功率除以标准探测器的光照面积得到辐射光的功率强度P；

S3.计算器件样品的光谱响应度：利用以下公式计算光谱响应度：R_λ＝ΔI/PS，其中ΔI是光电流，P是辐射光的功率强度，S是光照面积，λ是辐射光的波长。