[发明专利]截止滤光装置

说明书

本发明公开一种截止滤光装置，所述截止滤光装置包括一驱动器、一装载平台及多个截止滤光片，所述驱动器配置用以驱动所述装载平台旋转，所述截止滤光片安装在所述装载平台，而且所述截止滤光片配置用以供光源通过。

技术领域

本发明是有关于一种截止滤光装置，特别是有关于应用在曝光机的一种截止滤光装置。

背景技术

在黄光制程中通过曝光机进行曝光，使得基板表面形成图案，而曝光所需要的曝光频谱是由截止滤光片(Cut Filter)来控制。截止滤光片的作用为阻隔环境中有机物进入照明系统，以防止光学镜组雾化；截止滤光片还能够单独或同时吸收特定光，例如：波长小于365nm的光(J/K Line)。

在一般情况下，截止滤光片需要进行更换。例如：截止滤光片严重雾化或是波段曝光频谱切换。其中，当截止滤光片严重雾化时，会造成光的穿透率降低，曝光灯为了维持曝光照度的恒定需增大功率，从而降低曝光灯的使用寿命。另外，当波段曝光频谱切换时，根据不同制程来决定是否需要将低波段频谱进行全部/部分过滤，或仅安装一块素玻璃将低波段频谱完全释放出来。

然而，现有的曝光机都是装载单一截止滤光片的光学系统，更换时需要透过以下几个操作步骤：关灯、照明系冷却、关机、盖板及截止滤光片的拆卸及安装，所述几个操作步骤耗时费力，严重影响产能以及浪费人力资源成本。

因此，有必要提供改良的一种截止滤光装置，以解决上述现有技术所存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种截止滤光装置，利用驱动器驱动装载平台旋转，因而自动替换截止滤光片的位置，用以提高生产效率及产能。

为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种截止滤光装置，所述截止滤光装置包括一驱动器、一装载平台及多个截止滤光片，所述驱动器配置用以驱动所述装载平台旋转，所述截止滤光片安装在所述装载平台，而且所述截止滤光片配置用以供光源通过。

在本发明的一实施例中，所述装载平台包含一装载盘及一中轴固定杆，所述中轴固定杆固定在所述装载盘的一中心，而且安装在所述驱动器上。

在本发明的一实施例中，所述截止滤光片沿着径向且等距间隔地排列在所述装载盘上。

在本发明的一实施例中，所述装载平台还包含多个镂空区域及多个固定件，所述镂空区域形成在所述装载盘上，而且与所述截止滤光片相对应，所述固定件设置在所述装载盘上，而且围绕在所述镂空区域的周围。

在本发明的一实施例中，所述固定件为弹簧卡扣。

在本发明的一实施例中，所述截止滤光装置还包括一盖板，所述盖板覆盖在所述装载平台上，所述盖板具有至少一楼空孔，所述楼空孔配置用以与所述截止滤光片的其中一个相对应。

在本发明的一实施例中，每一截止滤光片具有多个侧边，所述侧边分别被相应的固定件进行固定。

在本发明的一实施例中，相邻的二个截止滤光片的侧边形成一夹角，所述夹角为30°至180°。

在本发明的一实施例中，所述截止滤光片具有至少一完全滤光片、至少一部分滤光片及至少一无滤光片。

在本发明的一实施例中，所述截止滤光装置还包括一对位感应器，所述对位感应器设置在所述装载平台上且电性连接所述驱动器，所述对位感应器配置用以识别所述截止滤光片的位置。

如上所述，本发明截止滤光装置装载有多个截止滤光片，能够过滤不同频谱的光源，而且通过所述驱动器驱动所述装载平台旋转而自动替换所述截止滤光片的位置，用以提高生产效率及产能。此外，也能够降低人员手动拆除/装载频率，降低人力成本，确保截止滤光装置的光学系统的洁净度及精密性。

附图说明