[发明专利]振动机构及槽式清洗机

说明书

本发明公开了振动机构及槽式清洗机。该振动机构包括依次连接的电机组件、轴承组件、凸轮组件、直线运动组件和振动臂组件，所述电机组件、所述轴承组件和所述振动臂组件均安装在所述直线运动组件上，所述凸轮组件安装在所述轴承组件上，所述电机组件输出动力，所述轴承组件将所述电机组件输出的动力传递给所述凸轮组件以驱动所述凸轮组件旋转，所述直线运动组件包括凸轮随动器，所述凸轮随动器置于所述凸轮组件上表面并在凸轮组件驱动下进行往复直线运动，进而带动振动臂组件振动。该振动机构整体结构紧凑占用空间小，此外组件功能划分清晰、连接关系简单，便于安装维护和调试。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种振动机构及包括该振动机构的槽式清洗机。

背景技术

半导体器件生产中，往往微量污染就会导致器件失效，因此硅片须经严格清洗。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。可采用纯水、酸性、碱性液体等对硅片进行清洗。

槽式清洗机可一次性对多个硅片进行清洗。通常硅片被承载在花篮中，花篮被置于清洗槽中，清洗槽中装有清洗液。花篮在外力驱动下上下振动，带动硅片在清洗液中上下振动，以充分洗去硅片表面的污染杂质。

振动机构是槽式清洗机的关键组件。现有的槽式清洗机所采用的振动机构体积较大，具体部件连接较为复杂，占用空间大且不易于安装调试和维护，而且成本高，难以令人满意。

因此，希望得到一种结构紧凑便于安装调试的振动机构。

发明内容

本发明的目的是提供一种振动机构，以克服现有槽式清洗机所采用的振动机构体积大且不易于调试安装维护的缺陷。

本发明一方面提出了一种振动机构，包括依次连接的电机组件、轴承组件、凸轮组件、直线运动组件和振动臂组件，所述电机组件、所述轴承组件和所述振动臂组件均安装在所述直线运动组件上，所述凸轮组件安装在所述轴承组件上，所述电机组件输出动力，所述轴承组件将所述电机组件输出的动力传递给所述凸轮组件以驱动所述凸轮组件旋转，所述直线运动组件包括凸轮随动器，所述凸轮随动器置于所述凸轮组件上表面并在凸轮组件驱动下进行往复直线运动，进而带动振动臂组件振动。

优选地，所述电机组件包括电机、减速机、电机座、联轴器，所述电机与所述减速机连接，所述减速机与所述电机座连接，所述电机座安装在所述直线运动组件上，所述联轴器抱紧所述减速机的输出轴；所述电机和所述减速机位于所述电机座下方，所述减速机的输出轴穿过所述电机座的孔伸到所述电机座上方，所述联轴器位于所述电机座上方，所述电机座的侧面安装在所述直线运动组件上。

优选地，所述减速机是直角减速机。

优选地，所述轴承组件包括轴承盖、轴、轴承、轴承座、连接轴，所述轴承套在所述轴上，所述连接轴与所述轴连接并从下方紧压所述轴承，所述轴承座具有孔，所述轴承套、所述轴和所述连接轴被置于所述轴承座的孔中，所述轴承座的侧面安装在所述直线运动组件上，所述轴承盖从上方紧压所述轴承，所述连接轴与所述电机组件连接。

优选地，所述轴承组件还包括传感器，所述传感器安装在所述轴承座上，在感应到触发源时发出到位信号。

优选地，所述凸轮组件包括凸轮，所述凸轮与所述轴承组件连接，在所述轴承组件的驱动下转动。

优选地，所述凸轮组件还包括触发源，所述触发源连接在所述凸轮上并与所述凸轮同步转动，当所述触发源旋转至传感器附近时触发所述传感器，使所述传感器发出到位信号。

优选地，所述直线运动组件包括直线导轨、底板、移动板，所述直线导轨安装在所述底板上，所述移动板连接在所述直线导轨的滑块上，所述凸轮随动器安装在所述移动板上，随着所述凸轮组件转动，所述凸轮随动器上下运动，带动所述移动板沿所述直线导轨做往复直线运动。