[发明专利]石英音叉与压电双晶复合的差分谐振式电压传感器在审
申请号: | 201911130208.4 | 申请日: | 2019-11-18 |
公开(公告)号: | CN110907681A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 黄子军;卞雷祥;文玉梅;李平 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 岑丹 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 音叉 压电 双晶 复合 谐振 电压 传感器 | ||
1.一种石英音叉与压电双晶复合的差分谐振式电压传感器,其特征在于,包括2个音叉谐振器(1)、压电双晶片(2)、底座(4)和门振荡电路(5),所述2个音叉谐振器沿压电双晶片(2)长度方向对称设置在压电双晶片(2)的上下表面,所述压电双晶片(2)固定在底座(4)上,所述音叉谐振器(1)为双端固定音叉,包含两个音叉振梁,每个音叉振梁的四个面上交替设置正负电极,且在音叉振梁长度的0.224倍和0.776倍的位置处使该面设置的电极反向,所述2个音叉谐振器(1)的正负电极与门振荡电路(5)连接。
2.根据权利要求1所述的石英音叉与压电双晶复合的差分谐振式电压传感器,其特征在于,所述音叉谐振器(1)包括石英音叉(11),所述石英音叉(11)两端各设有一个支撑端部(14),所述支撑端部(14)上设置音叉焊盘(12)。
3.根据权利要求2所述的石英音叉与压电双晶复合的差分谐振式电压传感器,其特征在于,所述2个音叉谐振器(1)的正负电极通过音叉焊盘(12)与门振荡电路(5)连接。
4.根据权利要求1所述的石英音叉与压电双晶复合的差分谐振式电压传感器,其特征在于,所述压电双晶片(2)包括两个长条形压电片(21)和一个支撑片(22),所述支撑片(22)设置在两个长条形压电片(21)之间,且两个长条形压电片(21)表面均镀有金属电极。
5.根据权利要求4所述的石英音叉与压电双晶复合的差分谐振式电压传感器,其特征在于,所述两个长条形压电片(21)均沿厚度方向极化,且粘接到支撑片(22)上时,两个压电片(21)的极化方向相反。
6.根据权利要求1所述的石英音叉与压电双晶复合的差分谐振式电压传感器,其特征在于,所述音叉谐振器(1)选用氮化铝、硅或石英材料设计音叉结构以及音叉激振焊盘。
7.根据权利要求1所述的石英音叉与压电双晶复合的差分谐振式电压传感器,其特征在于,音叉谐振器(1)与压电双晶片(2)之间使用垫片(3)隔开。
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