[发明专利]带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线

权利要求书

1.带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。

2.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：磁材镀膜生产线还包括输送机构和托板，托板放置在输送机构上，磁材放置在托板上。

3.按照权利要求2所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：输送机构包括传动辊，托板放置在传动辊上。

4.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：镀膜室上至少设置有一个平面阴极、至少一个动力装置、至少一个运动机构。

5.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：磁钢的列数为三列或者三列以上。

6.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：平面阴极的靶材为整块式、分块式或者绑定式。

7.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：运动机构为滑轨滑块运动机构或者滚轮轨道运动机构。

8.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：动力装置采用编程模块电气控制。

9.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：动力装置的动力形式为电动、气动或者液压。

10.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：低真空室为抽真空室或者过渡室，高真空室为过渡室或者缓冲室。