[发明专利]质谱仪气压调节系统及方法

权利要求书

1.一种质谱仪气压调节系统，其特征在于，包括：

真空腔，所述真空腔与非连续进样系统、真空抽气系统和气压调节系统连接，用于提供真空环境，保障质谱仪中的离子运动；

所述非连续进样系统，用于质谱仪的离子进样，每次进样会提高质谱仪真空腔内部气压；

所述真空抽气系统，所述真空抽气系统包括前级抽气系统机械泵和后级抽气系统分子泵，其中，所述前级抽气系统机械泵用于将大气压降至所述后级抽气系统分子泵的工作气压；

所述气压调节系统，所述气压调节系统分别与所述真空腔和所述真空抽气系统连接，其中，所述气压调节系统包括大气进气调节方式和内循环气压调节方式，用于通过大气压和内循环气压调节真空腔内气压；

其中，所述大气进气调节方式是从外界环境进行进气，所述内循环气压调节方式是从所述前级抽气系统机械泵和所述后级抽气系统分子泵的中间气压管进行进气；

所述大气进气调节方式包括：

第一连接气路，用于提供外界大气压与所述真空腔的进气通路；

第一开关控制阀，所述第一开关控制阀安装在所述第一连接气路上，用于导通或断开所述进气通路；

所述内循环气压调节方式包括：

第二连接气路，用于提供所述真空腔与所述真空抽气系统的进气通路；

第二开关控制阀，所述第二开关控制阀安装在所述第二连接气路上，用于导通或断开所述进气通路；

流量控制阀，所述流量控制阀安装在所述第二连接气路上，用于调节所述进气通路的流量和流速；

其中，所述第一连接气路与所述第二连接气路连通，所述第二连接气路未伸入所述真空腔。

2.根据权利要求1所述的质谱仪气压调节系统，其特征在于，所述真空腔与所述后级抽气系统分子泵连接，所述后级抽气系统分子泵与所述前级抽气系统机械泵连接。

3.根据权利要求1所述的质谱仪气压调节系统，其特征在于，所述气压调节系统通过两种方式的组合工作调控质谱仪的气压。

4.根据权利要求1所述的质谱仪气压调节系统，其特征在于，所述第一开关控制阀的开启时间可控。

5.根据权利要求1所述的质谱仪气压调节系统，其特征在于，所述第二开关控制阀的开启时间可控。

6.根据权利要求1所述的质谱仪气压调节系统，其特征在于，所述流量控制阀的调控程度根据需求选择与控制。

7.一种质谱仪气压调节方法，其特征在于，采用如权利要求1-6所述的系统，其中，方法包括以下步骤：

打开非连续进样系统，被检测物质进入真空腔，提高真空腔内气压；

通过真空抽气系统将所述真空腔内气压降低；

持续预设时间间隔后，根据质谱仪工作不同需求，打开气压调节系统的开关控制阀，稳定所述真空腔内气压，实现质谱仪不同功能，得到质谱图；

关闭所述开关控制阀，等待下一次质谱仪工作。