[发明专利]一种基于金属掺杂的双向阈值选通器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911135800.3 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111106238B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 裴艳丽;邵徽红 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H10N70/00 | 分类号： | H10N70/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈伟斌 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 掺杂 双向 阈值 选通器 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于金属掺杂的双向阈值选通器，其特征在于，由衬底（101）、底电极（102）、介质层（103）和顶电极（104）依次叠加构成，所述介质层（103）为掺杂活泼金属元素的Ni(OH)2，所述活泼金属元素为易于发生氧化还原反应的银元素。
2.根据权利要求1所述的一种基于金属掺杂的双向阈值选通器，其特征在于，所述衬底（101）可以为绝缘硬质衬底或绝缘柔性衬底。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于金属掺杂的双向阈值选通器，其特征在于，所述顶电极（104）和所述底电极（102）为同种材料，均为金属或透明导电薄膜。
4.根据权利要求1所述的一种基于金属掺杂的双向阈值选通器，其特征在于，在所述介质层（103）中，所述掺杂活泼金属元素所占的比例低于10%。
5.一种基于金属掺杂的双向阈值选通器的制备方法，其特征在于，包括以下的步骤：
步骤一：配置混合有二甲氧基乙醇溶液和硝酸银有机溶液的前驱体溶液；所述二甲氧基乙醇溶液中溶有Ni(NO3)2·6H2O；
步骤二：在衬底上沉积底电极，并改善底电极表面的亲水性；
步骤三：旋涂或者印刷前驱体溶液，之后进行热处理，使前驱体发生反应生成Ni(OH)2薄膜，形成介质层；
步骤四：在介质层上沉积顶电极。
6.根据权利要求5所述的一种基于金属掺杂的双向阈值选通器的制备方法，其特征在于，在所述步骤二中，通过等离子体处理或者UV处理改善底电极表面的亲水性。
7.根据权利要求5所述的一种基于金属掺杂的双向阈值选通器的制备方法，其特征在于，在所述步骤三中，热处理温度低于300度，热处理的形式为热板处理或热板处理结合UV处理。
8.根据权利要求5所述的一种基于金属掺杂的双向阈值选通器的制备方法，其特征在于，介质层形成后进行退火处理。
9.根据权利要求5所述的一种基于金属掺杂的双向阈值选通器的制备方法，其特征在于，通过多次重复步骤三或改变前驱体溶液的浓度改变介质层的厚度。
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