[发明专利]用于镜头保护片的蚀刻装置和基于该装置的蚀刻方法有效
申请号: | 201911135977.3 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN110746119B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 付雄鹰 | 申请(专利权)人: | 成都西偌帕斯光电科技有限责任公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00;C09K13/08 |
代理公司: | 成都三诚知识产权代理事务所(普通合伙) 51251 | 代理人: | 成实;饶振浪 |
地址: | 610500 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 镜头 保护 蚀刻 装置 基于 方法 | ||
1.用于镜头保护片的蚀刻装置,其特征在于,包括旋转底座,设置在旋转底座上的伸缩蚀刻机构,以及位于伸缩蚀刻机构上方的镜头保护片传送机构,以及同时与旋转底座、伸缩蚀刻机构、镜头保护片传送机构连接的控制器(7);所述伸缩蚀刻机构包括通过气缸(4)安装在旋转底座上的蚀刻罐(3);所述蚀刻罐(3)内部设置有将蚀刻罐(3)内部空间分隔为粗蚀刻槽(11)、清洗槽(12)以及微蚀刻槽(13)的分隔板(17);所述气缸(4)能带动蚀刻罐(3)上升或下降;所述镜头保护片传送机构包括传送电机,通过传送齿轮与传送电机连接的传送链条(2),设置在传送链条(2)上的若干个蚀刻吊篮(1);控制器(7)与传送电机连接,所述控制器(7)能控制传送链条(2)传动,且在蚀刻吊篮(1)到达蚀刻罐(3)上方时控制气缸(4)伸缩以及旋转底座旋转,使蚀刻吊篮(1)依次伸入到粗蚀刻槽(11)、清洗槽(12)、微蚀刻槽(13)中。
2.根据权利要求1所述的用于镜头保护片的蚀刻装置,其特征在于,所述旋转底座包括底板(10),安装在底板(10)上的旋转电机(8),连接在旋转电机(8)转轴上的承载板(5);气缸(4)安装在承载板(5)上,旋转电机(8)与控制器(7)连接,旋转电机(8)能带动承载板(5)旋转。
3.根据权利要求2所述的用于镜头保护片的蚀刻装置,其特征在于,所述微蚀刻槽(13)和粗蚀刻槽(11)的底部均设置有加热丝(14),微蚀刻槽(13)内设置有微蚀刻槽传感器(15),粗蚀刻槽(11)内设置有粗蚀刻槽传感器(16),微蚀刻槽传感器(15)、粗蚀刻槽传感器(16)以及加热丝(14)均与控制器(7)连接。
4.根据权利要求3所述的用于镜头保护片的蚀刻装置,其特征在于,所述承载板(5)的下表面固定有支撑杆(9),支撑杆(9)的下端安装有滚轮(6),所述滚轮(6)能在承载板(5)上滚动。
5.一种基于权利要求1~4任一项所述的蚀刻装置的镜头保护片蚀刻方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:向粗蚀刻槽内加入粗蚀刻液,微蚀刻槽内加入微蚀刻液,清洗槽中加入清水,并将涂布有光阻的镜头保护片放置在蚀刻吊篮中,控制器控制传送链条移动;所述粗蚀刻液的原料按质量百分比包括:氢氟酸铵20%、草酸22%、硫酸铵20%、甘油3.8%、硫酸钡22%、脂肪醇聚氧乙烯醚3%,余量为水;所述微蚀刻液的原料按质量百分比包括:氟化氢铵5%、氢氟酸15%、草酸20%、醋氟化氨6%、硫酸铵8%,余量为水;
步骤2:当蚀刻吊篮传送至蚀刻罐上方时,控制器控制传送链条停止,同时控制器控制气缸伸长使气缸推动蚀刻罐向上移动,并使蚀刻吊篮浸泡于粗蚀刻液中,对镜头保护片进行粗蚀刻;
步骤3:粗蚀刻完成后,控制器控制气缸收缩,使蚀刻吊篮离开粗蚀刻液;同时,控制器控制旋转电机旋转,并控制气缸再次伸长,使蚀刻吊篮浸泡于清水中,对镜头保护片进行清洗;
步骤4:清洗完成后,控制器控制气缸收缩,使蚀刻吊篮离开清水;同时,控制器控制旋转电机旋转,并控制气缸伸长,使蚀刻吊篮浸泡于微蚀刻液中,对镜头保护片进行微蚀刻;
步骤5:微蚀刻完成后,控制器控制气缸收缩,使蚀刻吊篮离开微蚀刻液;同时,控制器控制旋转电机旋转,使蚀刻罐回归原始位置,并控制传送链条移动,返回步骤2对下一个蚀刻吊篮中的镜头保护片进行蚀刻;
步骤6:将微蚀刻后的镜头保护片浸泡于脱膜液中,去除镜头保护片上的光阻,完成蚀刻。
6.根据权利要求5所述的镜头保护片蚀刻方法,其特征在于,所述步骤2中粗蚀刻时间为1~2.5min,粗蚀刻温度为35℃~37℃。
7.根据权利要求6所述的镜头保护片蚀刻方法,其特征在于,所述步骤4中微蚀刻的时间为1~1.5min,微蚀刻温度为35℃~37℃。
8.根据权利要求7所述的镜头保护片蚀刻方法,其特征在于,所述步骤6中的脱膜液是配比为1:1的氢氧化钾和水的混合液。
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