[发明专利]用于镜头保护片的蚀刻装置和基于该装置的蚀刻方法有效

专利信息
申请号: 201911135977.3 申请日: 2019-11-19
公开(公告)号: CN110746119B 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 付雄鹰 申请(专利权)人: 成都西偌帕斯光电科技有限责任公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00;C09K13/08
代理公司: 成都三诚知识产权代理事务所(普通合伙) 51251 代理人: 成实;饶振浪
地址: 610500 四川省*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 用于 镜头 保护 蚀刻 装置 基于 方法
【权利要求书】:

1.用于镜头保护片的蚀刻装置,其特征在于,包括旋转底座,设置在旋转底座上的伸缩蚀刻机构,以及位于伸缩蚀刻机构上方的镜头保护片传送机构,以及同时与旋转底座、伸缩蚀刻机构、镜头保护片传送机构连接的控制器(7);所述伸缩蚀刻机构包括通过气缸(4)安装在旋转底座上的蚀刻罐(3);所述蚀刻罐(3)内部设置有将蚀刻罐(3)内部空间分隔为粗蚀刻槽(11)、清洗槽(12)以及微蚀刻槽(13)的分隔板(17);所述气缸(4)能带动蚀刻罐(3)上升或下降;所述镜头保护片传送机构包括传送电机,通过传送齿轮与传送电机连接的传送链条(2),设置在传送链条(2)上的若干个蚀刻吊篮(1);控制器(7)与传送电机连接,所述控制器(7)能控制传送链条(2)传动,且在蚀刻吊篮(1)到达蚀刻罐(3)上方时控制气缸(4)伸缩以及旋转底座旋转,使蚀刻吊篮(1)依次伸入到粗蚀刻槽(11)、清洗槽(12)、微蚀刻槽(13)中。

2.根据权利要求1所述的用于镜头保护片的蚀刻装置,其特征在于,所述旋转底座包括底板(10),安装在底板(10)上的旋转电机(8),连接在旋转电机(8)转轴上的承载板(5);气缸(4)安装在承载板(5)上,旋转电机(8)与控制器(7)连接,旋转电机(8)能带动承载板(5)旋转。

3.根据权利要求2所述的用于镜头保护片的蚀刻装置,其特征在于,所述微蚀刻槽(13)和粗蚀刻槽(11)的底部均设置有加热丝(14),微蚀刻槽(13)内设置有微蚀刻槽传感器(15),粗蚀刻槽(11)内设置有粗蚀刻槽传感器(16),微蚀刻槽传感器(15)、粗蚀刻槽传感器(16)以及加热丝(14)均与控制器(7)连接。

4.根据权利要求3所述的用于镜头保护片的蚀刻装置,其特征在于,所述承载板(5)的下表面固定有支撑杆(9),支撑杆(9)的下端安装有滚轮(6),所述滚轮(6)能在承载板(5)上滚动。

5.一种基于权利要求1~4任一项所述的蚀刻装置的镜头保护片蚀刻方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1:向粗蚀刻槽内加入粗蚀刻液,微蚀刻槽内加入微蚀刻液,清洗槽中加入清水,并将涂布有光阻的镜头保护片放置在蚀刻吊篮中,控制器控制传送链条移动;所述粗蚀刻液的原料按质量百分比包括:氢氟酸铵20%、草酸22%、硫酸铵20%、甘油3.8%、硫酸钡22%、脂肪醇聚氧乙烯醚3%,余量为水;所述微蚀刻液的原料按质量百分比包括:氟化氢铵5%、氢氟酸15%、草酸20%、醋氟化氨6%、硫酸铵8%,余量为水;

步骤2:当蚀刻吊篮传送至蚀刻罐上方时,控制器控制传送链条停止,同时控制器控制气缸伸长使气缸推动蚀刻罐向上移动,并使蚀刻吊篮浸泡于粗蚀刻液中,对镜头保护片进行粗蚀刻;

步骤3:粗蚀刻完成后,控制器控制气缸收缩,使蚀刻吊篮离开粗蚀刻液;同时,控制器控制旋转电机旋转,并控制气缸再次伸长,使蚀刻吊篮浸泡于清水中,对镜头保护片进行清洗;

步骤4:清洗完成后,控制器控制气缸收缩,使蚀刻吊篮离开清水;同时,控制器控制旋转电机旋转,并控制气缸伸长,使蚀刻吊篮浸泡于微蚀刻液中,对镜头保护片进行微蚀刻;

步骤5:微蚀刻完成后,控制器控制气缸收缩,使蚀刻吊篮离开微蚀刻液;同时,控制器控制旋转电机旋转,使蚀刻罐回归原始位置,并控制传送链条移动,返回步骤2对下一个蚀刻吊篮中的镜头保护片进行蚀刻;

步骤6:将微蚀刻后的镜头保护片浸泡于脱膜液中,去除镜头保护片上的光阻,完成蚀刻。

6.根据权利要求5所述的镜头保护片蚀刻方法,其特征在于,所述步骤2中粗蚀刻时间为1~2.5min,粗蚀刻温度为35℃~37℃。

7.根据权利要求6所述的镜头保护片蚀刻方法,其特征在于,所述步骤4中微蚀刻的时间为1~1.5min,微蚀刻温度为35℃~37℃。

8.根据权利要求7所述的镜头保护片蚀刻方法,其特征在于,所述步骤6中的脱膜液是配比为1:1的氢氧化钾和水的混合液。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都西偌帕斯光电科技有限责任公司,未经成都西偌帕斯光电科技有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911135977.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code