[发明专利]可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法在审

专利信息
申请号: 201911136716.3 申请日: 2019-11-19
公开(公告)号: CN110794654A 公开(公告)日: 2020-02-14
发明(设计)人: 戚胜利;王健;孙彬;沈洪;李晓华 申请(专利权)人: 江苏上达电子有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 11589 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 徐家升
地址: 221300 江苏省徐州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 玻璃底片 曝光 曝光机结构 尺寸产品 卷带式 基材 履带式金属 对位标记 框架转动 连接位置 曝光对位 曝光技术 依次排列 精细化 可转动 履带式 曝光机 轮转 对位 良率 驱动 生产
【说明书】:

发明提供可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法,涉及PCS曝光技术领域。该可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法,包括以下步骤:S1、将玻璃底片1、玻璃底片2、玻璃底片3、玻璃底片4......等按照设计顺序依次排列在曝光机中可转动履带式金属框架中,曝光时玻璃底片1位于UV光源正下方;S2、卷带式基材从玻璃底片下方通过,先进行玻璃底片1的曝光作业;S3、玻璃底片1曝光完成后,卷带式基材按照设定尺寸进行搬送,同时驱动轮转动带动履带式框架转动至玻璃底片2位于UV光源下方。本发明,通过在玻璃底片上设计对位标记提高连接位置的对位精度,提高曝光对位良率的同时有利于产品线路向精细化发展。

技术领域

本发明涉及PCS曝光技术领域,具体为可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法。

背景技术

随着线路板产品应用于医疗,可穿戴设备等领域,超长尺寸单PCS产品成为线路板产品下的一个细分市场,随着医疗、可穿戴等领域的快速发展,这种超长尺寸单PCS线路板产品面临巨大的需求,目前在COF产品中应用最广泛的技术为单个小PCS产品的曝光,通过将单PCS产品线路排版后设计在玻璃底片上,产品曝光前涂布一层光刻胶,曝光时玻璃底片上非线路透光部分的光刻胶接收曝光能量后产生分解反应,将玻璃底片上的线路图案转移到光刻胶上,完成曝光作业。

根据传统的曝光原理可知,由于受曝光机平台、曝光能量均匀性及玻璃底片尺寸等限制,目前无法通过加大玻璃底片尺寸实现超长单PCS的曝光作业,仅能通过手动更换玻璃底片进行重新对位实现线路的连续性曝光,且由于存在对位公差较大,影响了超长尺寸产品线路向精细化发展;另外手动更换玻璃底片耗费时间长、生产效率低;人工更换过程中容易用错玻璃底片,造成不良率上升;多次人工更换玻璃底片过程中易带入灰尘,造成曝光定点不良。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法,解决了现有技术中存在的缺陷与不足。

(二)技术方案

为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法,包括以下步骤:

S1、将玻璃底片1、玻璃底片2、玻璃底片3、玻璃底片4......等按照设计顺序依次排列在曝光机中可转动履带式金属框架中,曝光时玻璃底片1位于UV光源正下方;

S2、卷带式基材从玻璃底片下方通过,先进行玻璃底片1的曝光作业;

S3、玻璃底片1曝光完成后,卷带式基材按照设定尺寸进行搬送,同时驱动轮转动带动履带式框架转动至玻璃底片2位于UV光源下方;

S4、再进行玻璃底片2的曝光作业,如此循环完成玻璃底片3、玻璃底片4......的曝光,如此即可完成整个超长单PCS产品的连续曝光作业。

(三)有益效果

本发明提供了可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法。具备以下有益效果:

1、通过在玻璃底片上设计对位标记提高连接位置的对位精度,提高曝光对位良率的同时有利于产品线路向精细化发展。

2、可以根据产品长度自由设计产品分段后的玻璃底片数量和单个玻璃底片长度,具有适用产品类型范围广,使用灵活等优点。

3、对于较长区域的相同线路图形,可通过计算将线路设计一个玻璃底片上,通过设定曝光机程序只进行产品搬送不更换玻璃底片,从而实现对单个玻璃底片进行连续多次曝光,从而减少玻璃底片数量,降低成本,应用灵活。

4、曝光机内部水平方向结构尺寸小,生产出的曝光机尺寸相对于传统曝光机尺寸增幅不明显,有利于向市场大范围推广应用。

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