[发明专利]可移动式快速高真空抽气系统

说明书

本发明属于真空密封技术，具体涉及一种可移动式快速高真空抽气系统，包括真空室，以及与真空室连接的分子泵上，还包括机械泵，所述的机械泵与所述的真空室的侧面抽气管道通过波纹管连接，所述的真空室顶部设有连接管路；所述的侧面抽气管道上设有真空室隔离阀门，所述的真空室的顶部设有真空室放气阀。为了满足快速高真空条件，设计安装了包括机械泵、波纹管、分子泵及管道控制阀门在内的真空系统；在真空室及抽气管道设置有阀门机构，包括放气阀、粗抽阀和真空室隔离阀，可以分别实现真空室的充气、预抽气和协同抽气功能。

技术领域

本发明属于真空密封技术，具体涉及一种可移动式快速高真空抽气系统。

背景技术

目前，常用的复合抽气系统都面临结构复杂、不可移动、不能抽至-3Pa级别高真空，而能满足高真空或超高真空级别的抽气系统价格都比较昂贵，并且设备专用，对于小体积(不超过10L)密封空间所需的抽气系统并不适用，因此需要设计一种结构简单、便携并且可快速抽至高真空的抽气系统。

发明内容

本发明的目的是提供一种可移动式快速高真空抽气系统，其价格低廉，便于使用。

本发明的技术方案如下：

一种可移动式快速高真空抽气系统，包括真空室，以及与真空室连接的分子泵上，还包括机械泵，所述的机械泵与所述的真空室的侧面抽气管道通过波纹管连接，所述的真空室顶部设有连接管路；所述的侧面抽气管道上设有真空室隔离阀门，所述的真空室的顶部设有真空室放气阀。

所述的波纹管与真空室的侧面抽气管道连接，之后的连接管道上设有机械泵粗抽阀门。

所述的真空室上设有电阻规和电离规。

所述的电阻规和电离规分别与真空计电源连接。

所述的分子泵连接分子泵电源及显示器。

所述的连接管道为石英管或波纹管。

还包括支撑结构，所述的真空室、分子泵和机械泵均放置在支撑结构上。

所述的支撑结构包括底部的支撑底板和设于支撑底板上的支撑架。

所述的支撑底板下方设有移动滑轮。

所述的分子泵上连接散热风扇。

本发明的显著效果如下：

设计了便携可移动式支撑架，包括可移动滑轮、支撑底板、支撑杆；支撑架底部4个角分布安装有4个滑轮，可任意360度滑动及随时锁紧。

为了满足快速高真空条件，设计安装了包括机械泵、波纹管、分子泵及管道控制阀门在内的真空系统；在真空室及抽气管道设置有阀门机构，包括放气阀、粗抽阀和真空室隔离阀，可以分别实现真空室的充气、预抽气和协同抽气功能。

匹配了相应的分子泵电源、真空规及真空规电源，用于整个系统的真空监测及电源控制，分子泵电源固定在支撑架上的支撑杆，可以实时显示分子泵转速，并且进行高低两个转速挡位的切换，适用于不同真空度需求的转速选择。

附图说明

图1为可移动式快速高真空抽气系统示意图；

图中：1.移动滑轮；2.机械泵；3.波纹管；4.支撑架；5.分子泵电源及显示器；6.真空计电源；7.电阻规；8.电离规；9.真空室放气阀门；10.机械泵粗抽阀门；11.真空室隔离阀门；12.真空室；13.分子泵；14.分子泵散热风扇；15.支撑底板；16.连接管路。

具体实施方式

下面通过附图及具体实施方式对本发明作进一步说明。