[发明专利]一种垂向交接装置及光刻系统

权利要求书

1.一种垂向交接装置，其特征在于，包括：

基座，其上设置有垂向导向件(8)；

驱动电机(1)，其设置在所述基座上；

曲柄滑块机构(2)，其包括曲柄(21)及滑块(22)，所述驱动电机(1)的输出轴与所述曲柄(21)连接，所述滑块(22)与所述垂向导向件(8)滑动连接，且所述曲柄(21)的转动能带动所述滑块(22)相对所述垂向导向件(8)竖直升降；

吸盘(3)，其与所述滑块(22)的上端连接。

2.根据权利要求1所述的垂向交接装置，其特征在于，所述曲柄滑块机构(2)还包括连杆(23)，所述连杆(23)的一端与所述曲柄(21)铰接，所述连杆(23)的另一端与所述滑块(22)铰接，且所述连杆(23)与所述曲柄(21)的铰接位置偏离所述曲柄(21)与所述输出轴的连接位置。

3.根据权利要求1或2所述的垂向交接装置，其特征在于，所述曲柄(21)上设置有第一转轴(24)和第二转轴(25)，所述第一转轴(24)和所述第二转轴(25)同轴设置在所述曲柄(21)的两侧，且所述第一转轴(24)与所述输出轴连接。

4.根据权利要求1或2所述的垂向交接装置，其特征在于，所述垂向交接装置(10)还包括：

上到位检测装置(41)，其相对所述基座固定，用于检测所述垂向交接装置(10)是否到达或靠近上交接位置；

下到位检测装置(42)，其相对所述基座固定，用于检测所述垂向交接装置(10)是否到达或靠近下交接位置；

控制器，所述驱动电机(1)、所述上到位检测装置(41)及所述下到位检测装置(42)均与所述控制器连接。

5.根据权利要求4所述的垂向交接装置，其特征在于，所述垂向交接装置(10)还包括：

机械限位组件，用于限制所述曲柄(21)的转动角度。

6.根据权利要求5所述的垂向交接装置，其特征在于，所述机械限位组件包括：

第一限位块(43)，相对所述基座固定，当所述垂向交接装置(10)运行至所述上交接位置时，所述第一限位块(43)与所述曲柄(21)接触并限制所述曲柄(21)继续转动；

第二限位块(44)，其相对所述基座固定，当所述垂向交接装置(10)运行至所述下交接位置时，所述第二限位块(44)与所曲柄(21)接触并限制所述曲柄(21)继续转动。

7.根据权利要求6所述的垂向交接装置，其特征在于，所述第一限位块(43)及所述第二限位块(44)朝向所述曲柄(21)的一面为圆弧面，且所述第一限位块(43)及所述第二限位块(44)与所述曲柄(21)的接触为点接触。

8.根据权利要求1所述的垂向交接装置，其特征在于，所述垂向交接装置(10)还包括气源组件，所述气源组件包括：

气源，所述气源设置在所述垂向交接装置(10)的非运动区域(102)；

第一管接头(51)，设置在所述吸盘(3)处；

第二管接头(52)，设置在所述气源处；

连接管路(54)，其设置在所述第一管接头(51)及所述第二管接头(52)之间。

9.根据权利要求8所述的垂向交接装置，其特征在于，所述气源组件还包括第三管接头(53)，所述第三管接头(53)设置在所述滑块(22)远离所述曲柄(21)的一侧；

所述连接管路(54)包括第一连接管路(541)和第二连接管路(542)，所述第一连接管路(541)的两端分别与所述第一管接头(51)及所述第三管接头(53)连接，所述第二连接管路(542)的两端分别与所述第二管接头(52)及所述第三管接头(53)连接。