[发明专利]用于镀膜室的屏蔽门

权利要求书

1.用于镀膜室的屏蔽门，所述屏蔽门用于镀膜生产线，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体(1)，所述箱体(1)内设有空腔，其特征在在于，所述屏蔽门包括箱体(1)上设有门结构(5)，多个箱体(1)通过门结构(5)的打开实现多个箱体(1)内的空腔的连通，以供待镀膜的基片在所述连通的空腔内运行，通过门结构(5)的关闭实现各个箱体(1)的关闭和独立。

2.根据权利要求1所述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：每个箱体(1)上设有两个分子泵(2)，分子泵(2)安装在腔体壁(9)上，分子泵(2)的抽取端位于箱体(1)的空腔一侧内，另一端位于箱体(1)的空腔外部，且两个分子泵(2)通过连接管(4)连通，连接管(4)和其它各箱体(1)上的连接管(4)并联连接后再连接至真空主管上或真空泵组上。

3.根据权利要求1所述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：门结构(5)设置在箱体(1)的空腔外部，包括两个驱动端(6)、转动轴(7)、多个连接体(8)、阀本体(10)和密封条(11)。

4.根据权利要求3所述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：转动轴(7)的两端安装在腔体壁(9)上，转动轴(7)和腔体壁(9)之间设有轴承，转动轴(7)可转动的安装在腔体壁(9)上，转动轴(7)和腔体壁(9)平行间隔设置。

5.根据权利要求3所述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：转动轴(7)的两端分别伸出箱体(1)的上部和下部后各连接一驱动端(6)，转动轴(7)两端的两个驱动端(6)和转动轴(7)一体连接。

6.根据权利要求5所述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：两个驱动端(6)各连接一驱动电机，两个驱动端(6)的两个驱动电机各连接并驱动一驱动端(6)。

7.根据权利要求6述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：两个所述驱动电机电连接外部控制系统，控制系统集中控制各个箱体(1)的门结构(5)开启和关闭。

8.根据权利要求3述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：多个连接体(8)沿着转动轴(7)的长度方向均匀间隔连接在转动轴(7)上，连接体(8)和转动轴(7)固定连接。阀本体(10)和转动轴(7)平行间隔布置，阀本体(10)和多个连接体(8)可拆卸连接。

9.根据权利要求3述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：转动轴(7)通过多个连接体(8)带动阀本体(10)转动，阀本体(10)以转动轴(7)为中心轴旋转。

10.根据权利要求3述的用于镀膜室的屏蔽门，其特征在于：阀本体(10)设有四个密封条(11)，四个密封条(11)连接形成矩形，阀本体(10)需要堵住的开口位于四个密封条(11)连接形成矩形内部。