[发明专利]超声波元件及超声波装置

说明书

本发明提供了一种能够容易地进行制造的超声波元件及超声波装置。超声波元件的特征在于，具备：配置成3行3列的格子状的9个超声波阵列单元；对于各超声波阵列单元输入输出驱动信号的9个驱动旁路布线；被施加共通电位且与8个超声波阵列单元连接的第一共通旁路布线；与未连接有第一共通旁路布线的超声波阵列单元连接的第二共通旁路布线；以及使第一共通旁路布线和第二共通旁路布线连接的第三共通旁路布线。在相邻配置的超声波阵列单元之间配置有驱动旁路布线、第一共通旁路布线以及第二共通旁路布线中的任意一个。第三共通旁路布线配置在与连接有第二共通旁路布线的超声波阵列单元相邻配置的超声波阵列单元的内部。

技术领域

本发明涉及超声波元件及超声波装置。

背景技术

以往，已知多个进行超声波发送接收的发送接收元件配置成格子状的超声波传感器(例如，专利文献1)。

在专利文献1的超声波传感器(超声波元件)中，将9个接收元件配置成3行3列的格子状，对于各接收元件，使驱动信号用布线以及共通布线与其连接。由此，能够实现各接收元件独立地接收超声波。

但是，在专利文献1的超声波元件中，与各接收元件连接的驱动信号用布线以及共通布线通过引线接合而立体配置。因此，导致超声波传感器的尺寸大型化。为了使超声波传感器小型化，优选将对于各接收元件的布线在设有接收元件的基板上进行二维配置。但是，例如，若试图在各接收元件之间配置多根布线而扩展各接收元件之间的间隔，则各接收元件的特性会变动。另外，在不扩展各接收元件之间的间隔而配置布线的情况下，由于驱动用信号布线以及共通布线交错，将这些布线进行二维配置是非常困难的。虽然也考虑了使驱动用信号布线和共通布线交差布线，但在该情况下，为防止驱动信号等的短路，需要对各布线实施绝缘处理，因此存在超声波传感器的制造变得非常复杂的问题。

专利文献1：日本特开2006-094459号公报

发明内容

本发明的一适用例所涉及的超声波元件的特征在于，具备：配置成3行3列的格子状的9个超声波阵列单元；在各所述超声波阵列单元内二维阵列状配置的多个超声波换能器；对于各所述超声波阵列单元输入输出驱动信号的9个驱动旁路布线；被施加共通电位，并且与9个所述超声波阵列单元中的8个所述超声波阵列单元连接的第一共通旁路布线；与未连接有所述第一共通旁路布线的所述超声波阵列单元连接的第二共通旁路布线；以及使所述第一共通旁路布线和所述第二共通旁路布线连接的第三共通旁路布线，在相邻配置的所述超声波阵列单元之间配置有所述驱动旁路布线、所述第一共通旁路布线以及所述第二共通旁路布线中的任意一个，所述第三共通旁路布线配置在与连接有所述第二共通旁路布线的所述超声波阵列单元相邻配置的所述超声波阵列单元的内部。

在本适用例的超声波元件中，优选的是，在所述超声波阵列单元中，多个所述超声波换能器以相同间隔配置，在相邻配置的所述超声波阵列单元中，配置在一方所述超声波阵列单元中的另一方所述超声波阵列单元侧的端部的所述超声波换能器和配置在所述另一方所述超声波阵列单元中的所述一方所述超声波阵列单元侧的端部的所述超声波换能器的间隔为与配置在所述超声波阵列单元内的所述超声波换能器的间隔相同。

在本适用例的超声波元件中，优选的是，所述第三共通旁路布线配置成遍及配置有所述第三共通旁路布线的所述超声波阵列单元的一方的端部至另一方的端部。

本发明的一适用例所涉及的超声波装置的特征在于，具备：上述适用例的超声波元件、以及对所述超声波换能器输入驱动信号的驱动电路。

附图说明

图1是示出作为一实施方式的超声波装置的一例的距离测量装置的简要结构的框图。

图2是示意性地示出一实施方式的超声波元件的结构的俯视图。

图3是示意性地示出将图2中的I区域进行放大的超声波元件的俯视图。